|
T. V. Amotchkina, M. K. Trubetskov, V. Pervak, S. Schlichting, H. Ehlers, D. Ristau, and A. V. Tikhonravov, Comparison of algorithms used for optical characterization of multilayer optical coatings // Appl. Opt. Vol. 50. N 20. pp. 3389-3395
В работе сравниваются два алгоритма для определения параметров слоев изготовленных покрытий. Используются данные специально изготовленных тестовых покрытий, записанные в ходе напыления с помощью системы широкополосного мониторинга. Покрытия изготовлены с помощью двух различных методов напыления. Конструкции покрытий отобраны с помощью вычислительных экспериментов.
Ключевые слова:
Design, optical monitoring, characterization
|