... В ВИМС (Вторичная Ионная Масс Спектрометрия) анализе твердая поверхность облучается первичными ионами некоторой определенной энергии. Энергия первичных ионов передается атомам образца путем соударений и возникает так называемый каскад соударений. ... Во время пролета вторичных ионов извлекающее поле выключено, и электроны низкой энергии используются для компенсации любой зарядки поверхности, вызванной первичными или вторичными частицами (Компенсация заряда). ...