Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://optics.sinp.msu.ru/OpticalLithography.pdf
Дата изменения: Tue Oct 22 12:04:54 2013
Дата индексирования: Sat Apr 9 22:35:06 2016
Кодировка:

..

..-.., .. . .
( )

..-.., . .
( ) 2013

· · · · · ·

Sourse: Intel, 2010 http://nano.msu.ru/files/conferences/school-2010-04/SuetinNV.pdf

: I ( xi , y i )
F ( xo , y o )

( )

( )

. . // . . 1998. . 65.(1). C. 58-63.

s in NA sin

:
:
1 , S K ( x , y ) 0,
2 2 x y 2 x2 y 2 m ax 2 m ax

,

max

NA / ; ( x , y )

, .

:

1, x 2 2 ( y y S B ( x , ) 2 2 0, x ( y

max ma

) x )

2 2

sin

( , ) , x y

:

I (x , y )

i

i

S

y S B ( x , ) |F
(

-1

y S F ( x x , y ) S K ( x , y ) |2 d x d y

F

- )

F -

:
S F (v x , v y ) e
2 i N

8 v x v

y

e

2 i ( x x n

y

yn )

( fn f

n 1

),

n 1

f n ( x kn y ) /( x kn y ), f
ei {e (2 ) 2 x y

N 1

f1 , kn ( yn yn1 ) /( xn xn1 )

:

S
y i ,

2 i ( x x1 y y1 )

F

e

2 i ( x x2 y y1 )

e

2 i ( x x2 y y2 )

e

2 i ( x x1 y y2 )

}
I ( xi , y i )

y i ,

d

cr

xi ,

xi ,

.., .. // . -. 3. . . 2009. 2. . 41-43.

· ·
·

I ( xi )

I

cr
30 300

I

cr

x
·

i

I (x , y )
y i ,

i

i

x

i

y i ,

130

xi ,

x i ,

I I
NA 0.5

0.5 248

wo 1 wo 0.2
I0 / 3 I0 / 3

xi ,

xi ,

I 0
.

:

w
w
i

i

w i w

0 .1

, ,

w wi ( I 0 10% ) wi ( I 0 )
I
0

.

.., .. . // . . 2008. . 72. 1. . 88-91.

( )

0 2 / 3

,

190 163 160 115

235 166 167 108

N A 0 .6

0 .5

248

.., .. . // . . 2008. . 72. 1. . 88-91.

-
:
x co x
o m

mn

,

y

o c

o yn

mn

1 16 1 16
max

max

1/ 8

max

max

NA

1/ 4

max

.., .. ( ..) . -. 3. . . 2007. 3. . 4448.

-
0

0

300

300

yo,

190

x

o

,

- (- 0.5 )
I ( xi , y i )
y i ,

I ( yi )
70

I ( xi )
x i ,

F 0, I 0

NA 0.6
248

60 50 40 30 20 10 0 <0.5 0.5-2 2-20 20-200 >200

·
( )

60 50 40 30 20 10 0

R. Schinella, 2002

· · · , .

.., .. // . 2011. . 40. 6. . 453-467.

Micronic Laser Systems AB ()

0.5o

Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems ()

Dauderstadt U., Karlin T., et al..// Proc. SPIE. 2004. V. 5348. P. 119-126.

248
2

193
4

2 16 16 2 512 2048

4 8 8 2 2048 5120

M=200 NA=0.82 DOF 0.4

M=267 NA=0.7-0.93 DOF 0.1

80

30

:
· ( 106 ). · . · . · (1010 /).

Zimmer F., Niklaus F., et. al. // Proc. SPIE. 2009. V. 7208. P. 720807.

(848 600) 10 f=5
o

Texas Instruments

435.8 nm

( NA 0.12)

( NA 0.5)

d 1.5 m

Liu C., Guo X., Gao F.,et al. // Proc. SPIE. 2005. V. 5645. P. 307.

Massachusetts Institute of Technology - MIT
-

Menon R., Patel A., Smith H. I.// Proc. SPIE. 2005. V. 5721. P. 53.

: · - , . · . · . · . · . · ( 64). · .

( )
:

( k 2 ) H 0
H ( x, y, z 0) f ( x, y )

:

R eix , f (x, y) , 0,

4

sin cos

R - (1):

H ( x, y , z , k x , k y )

kx k

y

A( k x , k y ) e

i ( kx x k y y kz z )

dk x d k y ,
2 y

A( k x , k y )

1 ( 2 )
2

xy

f ( x, y )e

i ( kx x k y y )

dxdy ,

kz

k 2 k x2 k

.. , .. . // . 2008. .2. 2. . 24.

( )
:
A( k x , k y ) R ( 2 ) 2 k x k

y

e

i ( k x x1 k y y1 )

e

i ( k x x2 k y y1 )

e

i ( k x x2 k y y 2 )

e

i ( k x x1 k y y 2 )

kx k

x

: N R i ( k x xn k y yn ) A(k x , k y ) ( fn f 1 e 2 8 k x k y n
kn

n 1

) , kx kx ; fn (kx knk y ) /(kx knk y ), f

N 1

f1,

y n y n 1 xn xn 1 , N -

I ( x , y , z ) H ( x , y , z , 0, 0 )

2

I ( x, y , z )

k x , ,k y

y H ( x, y , z , k x , k ) d k x , dk y

2

( )
, . , . . , . . , (, -). . , , .

( )
- (), . , . , , , . - . , - . , .