Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://aspirant.phys.msu.ru/special_courses/spring/Dvinin.doc Дата изменения: Tue Sep 8 09:44:03 2015 Дата индексирования: Sat Apr 9 23:50:36 2016 Кодировка: koi8-r

Проблемы физики газового разряда как основы нанотехнологий

доц. Двинин С.А.

Целью спецкурса является овладеть современными профессиональными знаниями в
области физики газового разряда. В курсе рассмотрены такие задачи, как
влияние формы реактора на однородность пространственного распределения
плотности частиц, возможности управления функцией распределения электронов
и ионов по энергиям за счет изменения структуры полей в плазме, работы в
локальном и нелокальном режимах ФРЭЭ, нарушения адиабатичности движения
частиц в поле, принципиальные для разработки технологических реакторов
низкого давления, а также физика формирования стационарных объемных
разрядов, распространения волн ионизации.