Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://danp.sinp.msu.ru/3_utro.pdf Дата изменения: Thu Apr 29 16:59:50 2004 Дата индексирования: Mon Oct 1 20:24:15 2012 Кодировка:

- .. , . , - - ( ) (, , , , ) - , 2He,
12

C,

14

N,

16

O . ,

, , , , . ( ), - , , - , , . , 1,735 -
12

2,1 - d .

0,5 В1 / , "" . . , , , 5 , - 10 . 20 , 0,1 . - , . , .


.. , .. , . , . , , . , . ; ; ; , . . 12-16 1,7 3,5 . (, ). , , . 10-15, . , . , , . , - . , . - . . , .


.. , .. , .. , .. , .. , , , . , . , , . , . 1-0. 3 , 7000 . ­ . 0.1 D2SO4 0.1 Bi2O3 240 0.5 /2. . . 0.5 6в10
3

. . - . . . ,

1 (6в103 ) . .


.. , .. ( ), , , . , . ­ - ( ). , . .. , . , () . . 1 20 , C 0 40 , , B , 15 . 10 4 . , S 5 T H . D 0 0 5 10 15 20 25 30 35 40 , . 1. , , , . (SPIM-L). . -. .
R(, 0, ), . .


.. , ..1), ..2), ..
1) 2) 1) 1)

, , , pokhil@nucl-th.sinp.msu.ru , . , Si (100), 67

1017 -2 [1]. 450, 1 . . . SiO2. , , SiO2. He 2 . 15 . 25 , .. 40. . , . , . . , He. , (110), (110) (100), Si (001). , . (100), (110) (-110). , [H2*]n2, . 1. .., .., .. // . , ., 2000, . 64, 11, .2114-2119


InP, GaAs (100) .. , .. , .. , .. , . , (/) ( ­ 4,5 ; ­ 1700) 45
0



InP <100> GaAs.

( , ), / GaAs InP. , (0,50) . , / , : "-" ( ­ ) ~250 ( ­ 500 ).



1)

.., 2).. , 2).. , 1).. , 1).. ,
3

.., 2)..

1)

­ . .. () , ,

. ..
2)

, . .



, / . -. () 7,7 . . , - "-". (10-20.%), (1520.%) . - . - , . - (10-20.%), / (15-20.%) . . 100%- . / -, .


TiN ..1), ..2), .. 2), .. 1), .. 3), .. 3), ..1)
1)

­ . .. , , 2) . .., . , 3) , , () . , - , . () TiN , - , ( ) - () , 1­0. 7.7 Ti 10 . (10%), , (5%), . 1/
2



200-300 600-800°. 3 5 . , ( 10) . , . 3-5 50 . TiN , .


HfO2 ZrO2 .. 1), .. 1), .. 1), ..
1) 2) 2)

- , , , ,

-. Si/MeO2/Si (Me=Hf, Zr), . , () () in situ - () XSAM-800. () . - - , , 2= 10-4 - 10-2 , ~1 , =200, O2 =6500. HfO2 , - , SiO2 . , , , SiO2 ~4 , , , 8500. - , . , (001), . , . (HfO2 ZrO2) , - . « ».


, - .. , .. . . , , (100) . 3 , ~10-2 , 0,3 ­ 0,4 /, 0,2 ­ 0,4. RUMP.
+

0=1,4



, /1/. , , , : , , , - : . . 68,10 77,00 87,60 . . Elkin B., Mayer Y., Schindler B., Vohner U. // Surf. and Coat. Techn. 1999. V. 116-119, p. 836


, , - , Ti, Mo .., .. , , , , , . , /1,2/. -26 C, Ti Mo . 10-2 0,3-0,4 / , (J) (), 3 , J/A=0,2-0,4. , , , , , /. "" , ­ . C, Ti Mo 90, 74,6, 98,6 62,4 . 1. .., ..// I . - .: - . -, 2001, . 153. 2. .. .// I . - .: - . -, 2003, . 143.


1(15N,)12C, r, , ..1), ..
1) 2) 2)

, . , 40,

Cr - .
-3



(0.2-12)1017 /2 5-15 . 4-5 /2, 10-2-10 . = 2 RUMP. , , , , (Fe, Al, Si). , ,
1

(15N,)12 , - .

N+ (=1.86 ) , 6.6 .


LiH .., .., .. , . , , . , LiOH, Li2CO3 Li2O. /1/ , , . 6 . () . LiH. 10 . {100} 10-5 ... + 3 . , 90°, , 10
15

-2.
2

1,41016 0,81016 /

.

, , , . ( LiOH) . T, 0 15 105 165 1305 , A 7,1 7,1 731 139 1408 792 1490 1081 2153 2071 1. Holcombe G.E., Powell G.L.// J. Nucl. Mater., 1973, vol. 47, 1, p. 121-124
o


Al-Zn .. -1), .. 2), ..
1) 2)

" ", . , , 2) , ,

Al-1.0; 2.0; 4.0; 6.0 Zn (. %) ( 30-60 ~106 /). Al-4.0 Zn 200 є 500 є, Al-6.0 Zn ­ 300 є. RUMP, - (). 3-5 %, ­ 30 %. . , . 1-7 Al-2.0 Zn. , . Al-2.0; 6.0 Zn . Al-6.0 Zn , . , ( 0.1 0.2 ). Al-4.0 Zn 0.05 36 . % 22 . % . 1.0 . ~3.7 . %. , ( 0.3-0.4 ), , : (0.02 ) . Al-1.0; 4.0 Zn 0.35 . % 1.7 . % . C , 1.42 . % (1.2 ) 3.6 . % (2.0 ) . , , . -, . , 500 є, , , . ( 03-043).