Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://danp.sinp.msu.ru/2_stend_vecher.pdf
Дата изменения: Thu Apr 29 16:53:48 2004
Дата индексирования: Mon Oct 1 20:33:16 2012
Кодировка:

Fe-9Cr - 1612 He
+

.. , .. , .. , .. - .. , , - , . , : , - , . , - , , / . Fe-9Cr He
+

c 30

450° 1в1020 1в1021 /2 - 1612 /1/. Ar+ 3 . - . . , 1612 /1/. , , , . 1. .., .. . // III . .: . , 2003, 79. 2.

.. 1), .. 1), ..
1) 2)

2)

- , The Australian National University, Canberra, Australia

, , . /1/, , 10 , . . , , . , , , , , (10 ) . /2/ , , . , " ", . . , . , , . 1. 2. Kucheyev S.O., Williams J.S., Pearton S.J. // Mater. Sci. Eng., 2001. V. R 33. P. 51. Titov A.I., Kucheyev S.O. // J. Appl. Phys. 2002. V. 92. P. 5740.

.. , .. , . ,

() . , .
+n

Al
+n

17

Si (100 , = 1015-10 -2) ( = 1-105 , = 300-1800 ). Al2O3 , . , h. 1.55.5 , ,
h .

n- p- , . , ,
h .

0.1-1.0 /1/ , ,
+n

. Si , , V- 1.5-3.7 2.0-5.0 , F2,3...F2 Ali...F2,3. (3.5 )
h

F+-, F+,F- Ali- . Ali...Ali 1.5-2.4 .

.. 1), .. 2), .. 1), .. 1), ..
1) 2) 1)

(), , , .

, p-n - /1, 2/. , ZnO, , p- . : - , p- , ZnO ( /3/). , ZnO-Li ( 110 , 1,3в1014 /2, 55 ) . ZnO-Li «» p- - , ; - ZnO-Ga ( ) -, (388 ) /4/. . 1. 2. 3. 4. Kucheyev S.O., Williams J.S. et.al. // Phys. Rew. B. 2003. V.67. P.094115-1 Look D.C., Reynolds D.C. et.al. // Appl. Phys. Letters. 2002. V.81. P.1830 .., .. . // . 1987. .57. .306 Alivov Ya.J. Look D.C. et.al. // Phys. State Sol. A. 2004 (to be published). Proceedings of 11th International conference on II-VI compounds, Niagara Falls, NY, 22-26 September. 2003

- .. , . . , . , - SiO2 Si3N4, , . 1 , . , , « ». - . -. .

- Al, Fe, Mo, Y .. , .. , .. , .. , .., - ( ) Al, Fe, Mo, Y Zr2 «-» 110 635 . Al, Fe, Mo, Y Ar+ . = =350, = 20 121810. t = 100 - 1200 . , () , , , - (: -100, PHI-660). () ( 100, 300, 600 1200 ) , .. «» () . «-» ( Al < 100 , Fe < 250 , Mo < 150 Y < 70 ) = 700 800 . , , , . , , 110 635 ( ) : -, ( 100 1200 ) , -, «-» , «».

.. , .. , .. , .. , . , . , , . ( 1010 ). (, , ) . , , . , . , , 50% , 10-15% - ( ), "". - . , - (- ). , , , . .

- .. , .. , .. , . , (, , ) , , , . , , , , - . , , . , , , . , .. , x t, - , . , , , , . , . .

.. , .. , , - . . Cu, Ni, Ag, Au (~310 ). Cu, Ni, Ag, Au ( ) . , , , , « ». , , . . , . , « » 45 . , ( Cu-Ge, Ni-Ge, Ag-Ge, Au-Ge) . , . « » . , . , : DCu~310
-12

2/

( 1 ) DCu~10-10 2/ ( 8 ).

«» .. , .. , .. , , , , p- . . (4,5 ), , . , , , . H 51014 -3 ~ 80 / (500 ), In k ~ 0,17. , k Cu, Ni, Ag, Au ( H) . k In , -, . D (~ 1,410-19 -2/) Ea ~ 1,1 (~ 320 ), . ( 2,16 ). «» , , . , .

.., .. , , , , , , . (), (2) ( ) Ge. n- (=15 ·), 102 -2. , . 300-310 , 20 1020 -3. 300 . . , 2 , 200 . (. .). . Ge ( 1) 2 ( 2) . . , , , .

- .., .. " ", , - . , . 60 90 CF3+ 3,0 5,0 . 60 90 CF3+ ~ 104 10
5

. , n-Si, , . 1 - 10 , . 0,1 . , . , Si*-SiO2-Si

1,4 . 14 113 , 840. Si3N4 , SiO2-Si, 840.

SiO2 .., .. " ", , , Si . SiF2, SiO2. SiO2 . . - H2O, , : H2O 2(-Si-F-)n + 2nH2O 2(-Si-F-)n + 4nH +2nO nSiO2 + nSi +2nHF + nH2. , - , . SiO2 , -. - -. . . . SiO2 3,3 . SiO2 , . 0,03 . . SiO2 , 2,0 .

..1), ..1), ..2), ..-3), ..1), ..2), ..3), ..3), ..
3)

1) 2)

- ( ), ( ), 3) , , 60 . , . , 60 , 550 , 1000 , -500 -150 220/220 v 1,5 60 . . [1,2]. , 4 . , , , . , . 1. .. // . . . . . . . . ., 1971. 2. ., , .., .. // . 1979. 4 .33.

2013 -, .. , .. , .. , .. , .. , . , , . , , . , . 2013 , , (Ti++N+, =30 , D=5·1017/2), , . 1 (1 15 ). 1 10 . . -. . , (~1 ) ~3 . 15 , , . , , . . .

- . , .. , .. , .. - «» -, - , , [1]. , . , [2]. , , , , . , TiN - (, ..) . , ( , , , ). , . , , .. [3]. , - Fe3N, ' Fe4N . TiFe2, TiCr2 . , Ti Zr Hf () . - . . 1. .., .., .., .. , .: , 1991 2. .., .., .., . . , 29-31 2000 . .: - , 2000, . 125. 3. .., .., .., , 40(3), 1998, . 438

Ti-Cr-N, .. 1), .. 1), .. 2), .. 2), .. 1) , , 2) , , .
2)

, , /1/. Ti-Cr-N .
+

3

(<

0,18

.

%

)

(100). Cr -1 , 100 103 . . 400. ( 50 100 ) 101 . Ti-Cr-N , - -. , TixCr1-xN (0,28

.. 1), .. 1), .. 1), .. 1), .. 2), .. 2), .. 2), .. 2), .. 2), .. 3), .. 3), .. 3)
1) 2)

, , , , 3) , , - 65 80 5 22 /2. , . , , , . , 30 .% 30 . - , , , . . . . , . - . , . - .