Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://danp.sinp.msu.ru/pci2005/pci3_utro.pdf Дата изменения: Sun Apr 24 21:39:46 2005 Дата индексирования: Mon Oct 1 20:54:39 2012 Кодировка:

Co-Ni-Fe
.. , .. , .. , . , .. . .. ., , Co-Fe-Ni ( 20 ), , , . Co-Fe-Ni , Cu(250nm)/Cr(25nm)/SiO2(300nm)/Si-. CoSO4·7H2O, NiSO4·6H2O, FeSO4·7H2O, H3BO3. pH, . () + 0 = 1.5-2.0 . , Co-Fe-Ni/u. , . , RUMP, (EDS).



1)

.. , 1).. , 1).. , 2).. 1 , ; 2 , ,

BN () -70 . , , (Fe Eu), . , , . , ( ). -3 . -, -. , 2В3 . , , , . 96- . . , 100 . CNRS ( 081.0736.00)



..1), ..2), ..1), ..1) 1) , , 2) , , - - /1,2/. , - . (100)- (111)-Si (Ti, Co, Zr, Mo, W), . 10-2 . 0.02 0.045 3-20 . 0=1.4, 1.5 2.0 . , , . , . , . . 1. Tashlykov I.S., Bobrovich O.G. Proc. of 5th Intern. Conf. "Ion implantation and other application of ions and electrons. Ion 2004". Eds J. Zuk and J. Filiks. Lublin, 2004, p. 53. 2. . ., ., . //, 2004, 3, . 30.


Ti Co,
..1), ..2)
1)

, . , , . ,

2)

C i - . /. (1-2)1017 /2 7 . 4-5 /2, 10-2-10-3 . 2 RUMP. , (C, i), , , , . 1(15N,)12C. N+ 6.1 6.8 10 . , , , 25-30 .% , . , / 20 10 .%. , . - , N+. , , .


Fe-Cr He+
.. , .. , .. , .. " .. ", . , - , , / . , . Fe-Cr , . Cr Fe ­ (9-11) .% Cr He+ c 30 450° 1в1020 1в1021 /2 . , Cr . , Cr : · ­ , , ; · -, , , · ; · . Cr, . , Cr , .


F/ -
.., .., .. ­ , , , Al2SiO4(OHxF(1-x))2, 0

Ag Cu
.. , .. "", , - (10,6 ) Ag-Cu, Ag-Mo, Cu- Mo, Cu-Si, Ag-SiO2 ( 98- 99 %) , , . ( Ag-Mo, Cu-Si) . 2 10-4 Mo -, 1-2 . N+, Ar+ 75150 1 /2 "" ( 1014 1017 -2). , 20- 76 20-30 300-500 , 30-50 4-10 100 . 2-20 . 2-3 , , . Ag 300-400 3 1015- 1016 -2. Ag - 80 (800 /2). , , 107 /, 10-30 , . 100 , 3 1016 -2.


SiO2 GaAs
.. 1), .. 1), .. 1), .. 1) , ., 2) , .,
2)

, SiO2 ( 50), ( () ) (ESi = 120 , 1,0·1015 -2) (100) GaAs. Si , . , . SiO2 2 3 1 4. (3), SiO2, , (4), . , , 3 4. [1]. 30% . , . 1. ., .., ., .. // VII . ­ .: - , 1976. ­ . 205.



.. , .. , .. , . , , ( , ), (, , . ), - . ( 8-10 ). . , . - , . . , , , (/ ) , . , , , "" . , ( , ) ( ), . . . .



.. , .. , .. , . , /, (, , ) . . , - , - , . . V, ­ ( VD) . . . /1/. , V=VD : VVD . . . .., .., .. // , 2004. 2, . 5.