Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://danp.sinp.msu.ru/pci2007/utro_31stend.pdf
Дата изменения: Tue May 8 00:39:56 2007
Дата индексирования: Mon Oct 1 21:32:22 2012
Кодировка:

- Al2O3 a-Si/Al2O3
B B B B B B B B

.. , .. , .. , .. , .. . .. , . , « Si », - . . - . - . Al2O3 (150 ) () aSi/Al2O3 (3/7 , 17 ) - . Si+ = 100 31016 31017 -2 -200. Sb+ 21013 61016 2 - «-3» 70 . = 500-1100 ° (2 ). «Solver Pro» (NTM-MDT) . Al2O3 , . Si+ ( ) ( 1-2 ) 0.1-0.3 5107 -2. , , Al2O3. a-Si/Al2O3 ( 900 °) 1.4-3.7 50-100 ~1010 -2. Sb+ ( 2 ) . 61014 Sb+/ , 900 1100 °, (20-40 ), 1-2 . -, , , . - .
B B B B B B B B P P P P P P P P P P P P P P P P B B B B P P P P P P B B B B B B B B P P P P P P P P P P P P

.. , .. , .. , ..
, . ,

, , V1 V2 . . , , . - . , V1 V2. . ( , , , ). , . , . , . (V < V1) (), V > 3 /c ( V1 = 5 /c) V >6 / ( V1 = 10 /c) , - .
B B B B B B B B B B B B B B

.. 1), .. 1), .. 2), .. 2), .. 2) , .. 1)
P P P P P P P P P P P

1)
P

, . , , 2) , .
P P P

, 1-0 -, «-5». «-5» - ( 200 /) 120 2, , , , , . , , . , ( 2,21018 /2) 120 . . . 12 135-140 , 60 , , 500 . , , . , , . . .
P P P P

- , . , 2) « », . , 3) , . ,
P P P P P P

1)

.. 1), .. 2), ..
P P P P P

3)
P

- . . , , , , . . -, . , - 60% . 8 6. , . . . . . , . . , . , , , , - , .

.. 1) , .. 2)
P P P

2)
P P

, , , . ,
P P

1)

. , . , , , . , , , .

(, , ) , . , . -56, ( 17510) 121810. . -3 (. ). , , . ( ; , ; , ) 520 ; , 14; 3 . : , , , , 2 , , , , .

.. 1), .. 1), .. 1), V. Ovchinnikov2) 1) , . --, 2) Helsinki University of Technology, Helsinki, Finland
P P P P P P P P P P P P

/1-2/ () . - , . - /3-4/. Si . - , , ( 1 ) , , . . p-Si, (MCz). (100) Si (525 , B, > 1 , 2 < 10 ppm, - Okmetic Oyi, ) (7,57,5 2), (50 , 1,51015 /2). 30 Ar (800 ). Na n-- . : 1,6 ( 0,3 , -Si), DO 0,6 2/ ( , DO -Si 0,015 2/). , . , Na Si .
B B P P P P P P P P B B B B P P B B P P

1. 2. 3. .. // . 2005. 1. . 105. .., .. // . 2001. 5. . 74. Harkonen J, Tuovinen E. et al. // Physica Scripta. 2004. V. T114. P.

4. Fretwurst E., Adey J. et al. // Nucl. Instr. And Meth. 2005. V. A 552. P. 7.

1)
P P

. 1), .. 2), .. 1) , . , 2) , . --,
P P P P P P P P P P

, . ( ). , 1013 /2. , , , , ( ). . . : , , , , , , , , ( 06-08-00245)
P P P P

, - .. , .. , .. , ..
. .. , . ,

/1,2/ . (), H. , . , , , . P, Sb, B. . 90Y-90Sr. , ( , H , DLTS), (V2-O-C; V2; V-O; V-B), . , n-Si p-Si ( P B) , (P Sb) . , , , -, «» (P, B). , , . ( 06-02-96321 06-02-96316).
P P P P B B B B

1. Tetelbaum D.I., Kurilchik E.V., Latisheva N.D. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 1997, 127/128, 153. 2. .., .. . // , 2006, 48, 2, 262.

.., .. , . , /1/ . ( , ..) . (., , /2/). , , , . . . /1/ : , , . , , . /3/ , ~100 . , . /3/, 30 1 ~ 1000 0 C . SiO2 ( --). 1. .., .. // . 2007, 4 ( ) 2. .., .., .. // , 1996, .15, 6, .3 3. .., .. . // . 2004, 5, .40

- .. , .. , . , /1/, - - , , . - , , . - , . , . /2/ , 5-10 , 10-20 %, . , , /3/, - , . , Ie. , . . - . . , , , . - /2/.
B B P P B B

1. 2. 3. .. .. - .- .: , 1977, .324. .., .., . // . 1992. 4, .61. ..// IV . , 2005, . 94.

MgO .. , .. , .. , . , .. , . , ( ) MgO. d = 100 500 е c . , , "" MgO (). MgO , , Eg,
B B

,

, е

MgO MgO

. .

150 е 150 е

8,2 8,5

7,2

1

4,2 1

, % 75 80

5,1 7,5 0,8

(D = 1015 -2) MgO , d = 5 10 е [1]. 20 25 е. Mg 8 10 е, 5 10 е. , Mg/MgO. W Mg . = 1000 1100 . Mg MgO.
P P P P

1. Tashmukhamedova D.A., Umirzakov B.E., Tashatov A.K. Uzbek journal of physics. V.2, 1, 2000. P. 38

CoSi2/CaF2/GaAs
B B B B

.. , .. , .. , . , . , CoSi2/CaF2/GaAs (.).
B B B B

. CoSi2/CaF2/GaAs.
B B B B

CaF2 (a = 5,46 е) GaAs (a = 5,63 е) . CaF2 Ca-Ba-F2, CaF2 0 = 1,0 , 1000 . ~100 120 е. Ca0,6Ba0,4F2, ~ 5,60 е. , , .
B B B B B B B B B B B B B B B B

SiC, NiSb, ZnO Cu C.. 1), .. 2), .. 3), .. 4), .. 1) , , 2) . , , 3) , , 4) , ,
P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P

3)
P

- () (SiO2) () 130, 60 3-5 . - (, Nanoscope IIIa, ) . () He+ -- 2,3 , .
B B P P

SiC:6H (0001) SiC:6H (0001) SiC:6H (0001) NiSb (0001) NiSb (0001) NiSb (0001) NiSb (0001) ZnO (0001) Cu (111) Cu (110) Cu (100)

3/2 1/0 SiO2 , 130 , 60 , 3-5 SiO2 SiO2 SiO2 SiO2 SiO2
B B B B B B B B B B B B

Nt, (1015) /2 27,71 19,34 4,89 36,45 32,35 14,23 13,21 6,35 11,61 15,51 10,80
P P P P

Ra, , 1.555 1.992 0.309 0.389 0.321 0.419 0.089 0.111 0.087 0.1055 0.098 0.122 0.072 0.088 0.101 0.124 0.5679 0.7031 -

Nt , , .

, .. 1), .. 1), .. 1), .. 1), .. 2), .. 2) 1) , . , 2) , . ,
P P P P P P P P P P P P P P P P

, «-», . , «- » 10-20 . - . - - -, , 3 .

. 10-3 200-1000є. . - 600є. - ZrN . , , , 600є, . 800є 5,5 4,0 . 1000є 2,0 , 1,6 , . , - 200є. 06-193.
P P

.. 1), .. 1), .. 2), .. 2) 1) , . , 2) , . ,
P P P P P P P P P P P P

, . -, 3. : (/ /) . - /1/. ~15/2 /1/. , , , . 0,2-2,0 . , . ( 20 ), , . (Ti, Cr, N) - -Fe. 2 . , . , , , .
P P

1. .., .., .., .., .., .., .., .. // , 2006. . 16, 2, . 123-131.

-
. . 1), . . 1) , . . 2), . . 3) 1) , . , 2) , . , 3) , . ,
P P P P P P P P P P P P P P

/1-2/. () «-» /2/. - « - », . 4 ( (100)) . . , 3 . /2/. , , , 15 /2, 10-15 , . , . . , .
P P

1. . ., . ., . ., . - / - .: 528 . 2. . ., . ., . ., . ., . . . // 2005, . , 2001, . ., 2. c. 36-41.

, ,
.. , .. , .. , .. , .. , . , /1/. . - Zr,Mo,Ti,Cr 156 . 670-1270 K. , 200 100 . . . ( 43 ) (Ti-Zr)N, (Zr-)N c .

, ZrN, TiN, (Ti-Zr)N, (Zr-)N. Cr2N, 2N (Cr-)2N r Mo. . , (, , ) (Ti-Zr)N, (Zr-)N , , (Cr-)2N .
B B B B B B B B

1.

Uglov V.V., Anishchik V.Mkhodasevich., V.V., Prikhodko Zh.L., Zlotski S.V., Abadias G., Dub S.N. Structural characterization and mechanical properties of Ti-Zr-N coatings, deposited by vacuum arc// Surface and Coatings Technology. 2004. V. 180-181. P. 519-525.

- ,
.. , .. , .. , , , (), (~100 ), , , 20 /2. (), () () .
P P

- , - , [1]. - ( ) . , . ( .) () , - . , , . , . , .
1.

Uglov V.V. etc. // V International conference plasma physics and plasma technology, Minsk, Belarus, September 18-22, 2006, P.563-566.

-MEIS .. , .. , .. , .. , .. , .. , , - - , 500 MEIS, . 1, , (.1). ,

)

)

. 1. -MEIS . a) , ) .

« »

.. , .. , .. « . .. », ., /1/ « » () 0,5 50 130 . , , . . /1/ , ~10%. /1/ , . 7 , , /2/, ( 0,2 -) . - () , /3/. «TRIM»-, , 0,3 «» 0,5 , «» . R p : 238,5 , 267,5 , 200,2 206,0 , .
P P

1. 2. 3.

Amberiadis K., Kump M., Magee C. // Sol.St.Elect, 1990, v.33, 6, p. 651 .., .. . .: , 1979, 88 . ., ., . . .:, 1973, 296