Äîêóìåíò âçÿò èç êýøà ïîèñêîâîé ìàøèíû. Àäðåñ îðèãèíàëüíîãî äîêóìåíòà : http://danp.sinp.msu.ru/pci2008/theses2008.pdf
Äàòà èçìåíåíèÿ: Tue Apr 29 05:04:18 2008
Äàòà èíäåêñèðîâàíèÿ: Mon Oct 1 21:06:47 2012
Êîäèðîâêà:
. ..
- . ..

XVIII
( 27 ­ 29 2008 .)

2008


539.1.01.08 22.37. 29 ... : .. , .. ., .. , .. , ..

29

XVIII / . . .. . ­ .: , 2008. ­ 203 . , .

© . .. , 2008


I.


.. , , () , . , 80% , . , : , , . . . , , . , , : , , . : , . , . . . .


.. , .. , . , 142432 , , . , . , , , , [011] ( ), fp=4.6 . (f/fp=0.01), , , . , ( 20%) , . , . , , , . , . ( , .) , . , , , , . .
B B B B


.. - - . .. , . ., , , Rp. , , , Rp , , , , , . , , «» , , -, -, (, ), () . ( ), . . . , , , . , , . ( ) , () , . .
B B B B


: .. 1),2), .. 1), .. 1) , . , , . ,
P P P P P P

1)
P

P

2)
P P

Pd16H ( ~ 6 . %). , Pd . . , . . 1.289 , 0.3 . - 0.189 . , (), . . , , . , 82% , ­ 78%. , -, , , . , . , , .
B B


..1), ..2), ..3), ..1)
P P P P P P P P

2)
P P

, . , , . , 3) , -,
P P P P

1)

Pd-H. , , -. . - Pd-H. , , (, ). , (E ~ 1010 /) (L ~ 10-10 ) . , .. , . , . , , , . " " .
P P P P


Zr-He
1)
P P

..1), ..2), ..2) , . , 2) , . ,
P P P P P P P P

Zr-He Zr , , . , Zr. He Zr ( ), He. . He Zr (~ 7å3 ) , Zr-He. (k), , Zr. , , He . , , , - , . , . , , - . Zr Zr-He, . , , .
P P


,
1)
P P

.. 1),2) , . , 2) , . ,
P P P

+- . , + , /1-2/. . , /2-3/. 25 20 /2-3/. C <100> 15 = 0.05 = 0.05 . 10 , 5 . 0 10 10 10 10 10 10 .
R
2 3 4 5 6 7

1. 2. 3. Bertulani C. A. and G. Baur G. // Phys. Rep. 1988 V. 163 P. 299. Kunashenko Yu.P., Pivovarov Yu.L. // Nucl. Instr. and Meth. 1996, V. 119 . P. 137. .., .., .. // . , , 1996. .6. .13.


.. 1,2) , .. 1) , . , 2) , . ,
P P P P P P P

2)

/1-2/ , , . , /1-2/ . .

()
T T T T

105 333 697 120

.029 .352 .913 7.89
T T T T

S () -7.35 -0.234225 -0.172696 -0.062079
T T T T T T T T

S n 0.07 0.0024 0.0036 0.00005

(100) W. E = 500 MeV , - , S - S . 1. 2. .. // XVII - - : .- . -,, 2007, c. 36. .. // . , 2007, .50, c.55.
n

- -


« » .., .. . , ( , ) (, ..). /1,2/ , - . (, , , , , ). « » /3/, , , , /3/ . , . , . t . t = t i .

- 1 )], a ­ , d / dt. , , , , , .
i

(t ) - ( ti ) tg [ a(tt

-1

1. 2. 3. .., .. // , 2007, 3, .51. .., .. // . XXXVII -2007, , 2007, .157. .., .. // , 2007, .41, 9, .295.


() .., .. . ., , () . , "" , . ld10 lE =dE/(dE/dz)3-10 lx =xv30-300 , c Wxx-1108-109 c-1 . : ld/ lx10-4 (/). . n()cos-1{(e-g)[n2()-1]/2mc2}1/2 . . 3 () : ) ; ) ("") ; ) "" , . , 3-5 . , .
B B B B B B B B B B B PB P P P P P P P B B B B P P B B B B P P P P P P P P



1)
P P

..1),2), ..2), .. 1) . ., , 2) "-21", ,
P P P P P P P

, . , - . , . (), rph/2. , () , rph/2(1-r2)1/2, |r|1 rp . r=/ rp- 0|r|1. , - . , , , .
B B B B B B B B P P P P B B B B B B B B B B B B B B B B


. . , . . . , , , . ( ) () [1]. , [2]. , , , . U (x ) , "" U( x ) . x : 1. , 2. . . 1. 2. .-. . .: , 1985, 280 . .. . .: , 1988, 512 .


.. School of Mathematics, University of Minnesota, Minneapolis, MN 55455, USA [1] 400 Si LHC. [2] . . ,
( 1 ) = 2 2a - 2a

o ,

a

= a / R , o = 2U o E /( p c ) , a ­ , R ­ . , o >> 2a . [2]
22

( 2 ) = 4 o 3 .

/ . , . [1]. 1. 2. Scandale, W. et al., /Phys. Lett. B658, p.109 (2008). .. , 87, .94 (2008).


.. School of Mathematics, University of Minnesota, Minneapolis, MN 55455,USA [1] 1, 70 400 Si, [2] , [3]. [4] , . . , [4]. . ( ) [5]. . 1. 2. 3. 4. 5. Ivanov Yu. M. et al. //Phys. Rev. Lett., 97, 144801, 2006; //JETP Letters, 84, 372, 2006; W. Scandale, et al., //Phys. Rev. Lett., 98, 154801, 2007. Taratin A. M. //Phys. Particles Nuclei, v29, N5, p. 437­462, 1998. Scandale W. et al., Phys. Lett. B, 658, 109, 2008. .. , 87, 94, 2008. Ford K.W. and Wheeler J.A. //Annals of Physics, 7, 259, 1959; //Annals of Physics, 7, 287, 1959


.. , , (, () , .). ( ­ ). , .. «-», ­ 5 , (), . (), (). /1/ . «» (« ») (« ») , ( cr 0 k cr , cr - , k~3...4), . «» , , .. . «» /2/ .. « m(x)>2» ( m( x ) = ( E ) ch / ( E ) rand , ­) /3/. . 1. 2. 3. Kadmenskii A.G. et al. //Phys. Part. Nucl., 2003. V.34. No.4. P.411. L'Hoir A., Adoui L., BarruÈ F., et al. //NIM B245, 2006, P.1. Roslyakov V.I., Rudnev E.I., et al. //Phys. stat. solidi (a) 1977. V.43. P. 59.


. ..1), .. 1) 2)
P P P P P P P

2)
P

xn +1 = xn + yn +1 , yn +1 = yn + kxn ( xn - 1) + ( + xn ) yn , (1) ( k 1, , 10-5)
P P

(.[1]). (1) t , , ( ). , : ( "out") n "in" n - , "hyperbolic". , , .. (1) ( ) . (.[3]), () . , 2-3 . .. (.[2]), : 10-5, : 10-9.
P P P P

1. .. . -.: , 2003. 2. .. . . - .: , 1989, 460 . 3. .. . . .2. . ­ .: , - , 2003 ., 576 .


- .. , .. , .. , .. , ,
P

( 50 ­ 400 ), , . , . , , ~ 1,5-2 , 8 20 [1]. , - . . 20 [2]. (1 ­ , 2 ­ "" , ­ 1 2 ). dE/dx . . [3]. . 1. .. - . ­ .: , 1990, . 183. 2. Yamazaki Y., Kuroki K. // Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. 1987. V. A262. P. 118. 3. Neugebauer R., Wuensch R., Jalowy T., Groeneveld K.O. et al. // Phys. Rev. 1999. V. B59. P.11113.


- .. , .. , .. . -, . , , , , . , - . h' ( ) (, , , - ). , . (h) , , , , .:
1 1 1 = 1 - (h ) 0 a( E0 - kh . )

, , ­ . - , : h 1 1 n ( h, h , 0 ) = n -1 ( h, h, 0 ) 0 dh , 1 - ) 0 a( E0 - kh h' n ( h, h , 0 ) - n , h ( n ); n -1 ( h, h, 0 ) - (n-1) ( (n1) ); 0 ( h, h , 0 ) - , h, ( 1 ); dh ( h ) - , -

h .


.. 1, .. 2, .. 1, .. 2, .. 2 1) , , 2) - - ... , .,
P P P P P P P P P P P P P

() . -8 . Si -5 ( 0,5 ) (111) (111) 0,02°. + 2,4 . 0,1 /2. 550 , 255 500 . ~ 2 . , , . , , 55 , 55 . , . C 5 . + 1015 -2. , , 0,5 , ( Si +). , , , . . ­ .
P P P P P P P P P P P P


.. , .. , . , . , , (0), . , , 0 l . l 0, .. . l. l , 20, , . , . , . , , . , , .
B B B B B B B B


, .. , , , . . , . , . , (. ). . . , . . , .



.. 2), .. 1), .. 2) 1) , 2) , , .-
P P P P P P P P P

() . , . , . , , , . , . , , . , , . , . , , , , . , . , . , .


..1), .. 1), .. 2), .. 1) « », , 2) , ,
P P P P P P P P P P P

2)
P

V­3,5Ga (E=6 , 1,0·1019-2). -- -4, . , 15­40 ( (3­5) · 1019 -2), ( 1,2 1020 -2). , . V­Ga . , ( 2,2 ). .
P P P P P P P P P P P P


.., .., .., .. , , ik 2.7, 4, 6 8*108 / . , .
B B P P



2

ik, 10

10



-16

43 32 21


1
10

01



12

23



34

0, 1

0, 1

E, /
____
P P

. 1. (-----) ( .

) -

. /1/. 1. .. . // , 2008. 4, .11.


.. , .. , .. , , , i,i+1 , i,i+1 Z /1/. C E i,i+1 E i,i+1(Z,Zc,E) = Ai(Z,Zc)/E, (1) Zc ­ (Zc=1 , Zc= 2 ), i ­ , Ai(Z,Zc) ­ , (1). i,i+1 Z /2/.
B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B

.1 Ai(Z,Zc), (1). (i=0) (i=1) (Z=1) (Z=2): 1 ­ [i=0, Zc =1]; 2 ­ [i=0, Zc =2]; 3 ­ [i=1, Zc =1]; 4 ­ [i=1, Zc =2].
B B B B B B B B B B B B B B B B

, i,i+1 Z. Z .
B B

1. 2. .. // , 1965. .85, .679. .., .. // , 2008. N5, c.12.


- . . , ,
P

[1]. · n ­ ½ . - [2,3,4,5] - [2,6] . . 1. 2. 3. 4. 5. 6. . . // , 2007. . 3. . 66. . . // . - .: , 1994, . 240. . ., . ., . . // , 2003. . 34. . 823. Partovi F. and Lomon E. L. // Phys. Rev., 1972. D 5. P. 1192. Donoghue J. F. // Phys. Lett. , 2006. B 643. P. 165. . . , . . // , 1992. . 162. . 1.

·

·


.. - , . , () /1/, ( ). , , , e + 0 e + , e e , 0 - () . /2/ , , , . . , , e 1 , e - , - . , : e + k0 e + , k - . k . , .. , . /3/. 1. 2. 3. - .. . , - , 1969, 457 . Lindhard J. // Phys. Rev. A., 1991, V.43, P. 6032. Lieu R., Axford W.I. and McKenzie J.F. // Phys.Rev. E, 1997, V. 55, P. 1872.


.. , .. , . --, . , Z, C, . ( ( Z + e ) + C (C + e ) + Z Z + (C + e ) ( Z + e ) + C ). , , : 2 Z p p2 + e + VZe (re - rZ ) + Ve (re - rj ) + VZ (rZ - rj ) ( E ) = E ( E ), 2m 2m j j Z e Z e , , - , ( Z ­ ), rj Ve , VZ - -





, . , (in out- ) . :
T T
( cap )

( , ', ) = drZ dre ' ( R ) (re - rZ )VZe (re - rZ ) (rZ ) (re );
* *

( loss )

( , ', ) =


j

drZ dre ' (rZ ) (re )Ve (re - rj ) ( R ) (re - rZ )
* *

,

(rZ ) - , ( R ) - (Z+e), (re ) - (r ) ­ . .


.. , .. , .. , . , , , , . , . , . , , , . , .


.. , .. , .. , , -
p =- t E

E



(Ap )


+

1 2 (Bp 2 2 E

),
A = lim
t 0

(1)
E t



p = p (E , t

) -- ,
2 E t

--

,

B = lim

t 0

-- . -

, (1)
p (1) 1 d (E = 2 t dt

)2

2 p (1) 2 E

.

(2)


p
(1)

=

(E - E exp - 2 2 2E 2 E 1

0

) .
2



(3)


D (x , y

) -- ; x , y -- m&& = -U (x , y ) x , (5) && my = -U (x , y )
x y

d (E dt



)

2

& & = D (x , y ) x 2 + y

(

2

)

;

(4)



U (x , y

) -- ,

Ux =

U x

.

- (2) (5). , 2 2 E (0,05 Vmax ) , V -- .
max


SRIM GEANT4 12
P P

2)
P P

.. 1) , .. 2) , . , , . ,
P P P P

1)
P

P

. , . ( ­ ), . , - Geant4, CERN SRIM, J.F. Ziegler' [1]. 12, «-», Geant4 SRIM, . . ­ , 12 (). , . , .
P P P P

1. Ziegler J.F., The Stopping of Energetic Light Ions in Elemental Matter, J. Appl. Phys / Rev. Appl. Phys., 1999, 85, 1249-1272


GEANT4 12, «-»,
P P

2)
P P

.. 1), .. 2) , . , , . ,
P P P

1)
P

P

. , . . 12, «-», Geant4 . - Geant4, CERN [1]. C12 500 / 109 . , . .1. , , , .
P P P P P P

.1. .

1. http://geant4.web.cern.ch/geant4/
HTU UTH


.. 1), .. 3), .. 3), .. 1), ..2) 1) , . , 2) () , . , 3) , . ,
P P P P P P P P P P P P P P P

/1/ . r , - . , . . , , n , , . , , , . , , , . . 1. .., .., .. . ­ .: , 1976. . 320.


.. , .. , .. . .. , . , - - , , . /1/. , , , , . 240 , 0,1 30 0,150 0,8 . , . : - , , , ; - 0,060. , , E = E ()2 0,24 . , , 0,060.
P P P P B B P P P P

1. Kamyshan A.S., Komarov F.F., Lagutin A.E. // Problems of theoretical and applied electron and ion optics: The 8-th All-Russian Seminar.Moscow, 2007.-P. 67.


II


.. , , . ,
P P

() , - /1/, , ' ( ) ' ' ( ) , . , ' ( ) ' ' ( ) , . ( ) . - , . 1. .., ., ., .. , 1973, 18(4), 865.


..1), ..2), ..1), ..3) . .. 2) . ., 3) " ",
P P P P P P P P P

1)
P P

P

P

P

P

- , , . , . , . ( C,N,O). . , , , , , (.1,2). - , , . .


, .. 1), .. 2), .. 1), .. 1), .. 2), .. 1) 1) , . , . 2) , , . , .
P P P P P P P P P P P P P P P P

, . , , , , , . , , , . 0 ( - , 0 - ) , -. . 100 10 .


.. , . --, , . , - . . , . , , . . , , . , - . :
dW d d
2

=

ve
2 2

2

'( ) sin 2
(2 )
2

( - kv ),

( - kv ) = dtdt ' Z (t ) Z (t ') exp [ i ( - kv )(t - t ') ]. , [1], Z (t ) Z (t ') . -

, . 1. Tamm I.E., Frank I.M. //Dokl. Akad. Nauk SSSR, 1937, 14, 107.


.. , .. , .. , . --, [1] , . [2]. Z (t ) Z (t ') - .

( , ) . [1]. ..// , 2008, 34, n.7, 29. [2]. Tamm I.E., Frank I.M. //Dokl. Akad. Nauk SSSR, 1937, 14, 107.


.. . .. , . ,
P P

. , , . , , () /1,2/ (. 1 /3/). , , . . 1. 2. 3. Schott G.// Phil. Mag. Suppl., 1933, v.15, 743. Devaney A. , E.Wolf // Phys. Rev.D, 1973, v.8, 1044. .., .. . .: , 1993, 344.


.. 1), .. 1), .. 2), .. 2), .. 1), .. 1) 1) , . , 2) , ,
P P P P P P P P P P P P P P P

15-40 . . . (, ) , , . : , . , , , , , , . ( 05-0217648 08-02-00816) .


Si LiF .. , .. , .. , . . , . ,
P

( ) /1, 2, 3/. DCR (Diffracted Channeling Radiation) /4/. DCR Si LiF /5, 6/. DCR . DCR DCR . . : · > L ( ) PXR. · DCR . · DCR .
B B B B B B

1. Baryshevsky V.G. and Dubovskaya I.Ya. // J. Phys. 1983. C 16. P. 3663. 2. Ikeda T., Matsuda Y., Nitta H., Ohtsuki Y.H. // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. 1996. B115. P. 380-383 3. Matsuda Y., Ikeda T., Nitta H., Minowa H., Ohtsuki Y.H. // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. 1996. B115. P. 396-400. 4. Yabuki R., Nitta H., Ikeda T., Ohtsuki Y.H. // Physical Review B. 2001. V.63. P. 174112. 5. .., .., .. // . ­ 2007. ­ . 85. . 11. ­ . 684. 6. Bogdanov O.V., Korotchenko K.B., Pivovarov Yu.L., Tukhfatullin T.A. //International Symposium «Radiation from Relativistic Electrons in Periodic Structures» (RREPS-07): Book of Abstracts - Prague, Czech Republic, September 24-28, 2007. - p. 81



1)
P P

.. 1) , . ,
P P

( ) /1, 2, 3/. /4/ DCR (Diffracted Channeling Radiation). DCR Si LiF /5, 6/. DCR . DCR . , /4/, . : · , DCR . · , , DCR , , /4/, . Si LiF ( -2008). 1. Baryshevsky V.G. and Dubovskaya I.Ya. // J. Phys. 1983. C 16. P. 3663. 2. Ikeda T., Matsuda Y., Nitta H., Ohtsuki Y.H. // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. 1996. B115. P. 380-383 3. Matsuda Y., Ikeda T., Nitta H., Minowa H., Ohtsuki Y.H. // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. 1996. B115. P. 396-400. 4. Yabuki R., Nitta H., Ikeda T., Ohtsuki Y.H. // Physical Review B. 2001. V.63. P. 174112. 5. .., .., .. // . ­ 2007. ­ . 85. . 11. ­ . 684. 6. Bogdanov O.V., Korotchenko K.B., Pivovarov Yu.L., Tukhfatullin T.A. //International Symposium «Radiation from Relativistic Electrons in Periodic Structures» (RREPS-07): Book of Abstracts - Prague, Czech Republic, September 24-28, 2007. - p. 81


.., .., .. - , . , , /1,2/ , . , , - , /1,3/. 1 ( E / 0 - E 0 ). /4/. , /3/, , (1 = 1015 ) /5/ (). ( ) . , . 1. 2. 3. 4. 5. .., .., .. . : «», 1989, 399 c. Khokonov M.Kh., Carrigan R.A. Jr. // Nucl. Inst. and Meth. B, 1998, V.145, P.133. .., .., .. // , 2002, .72, .11, . 69. . . // , 1979, .111, . 5-151. Hernandez-Gomez ., Brummitt P.A., Canny D.J., et. al. Vulkan petawatt-operation and development // J.Phys. IV France, 2006, V. 133, P. 555.


.. 1), .. 2) , . , () , . ,
P P P P P P

1)

P

P

2)
P P

. , , /1/. , , . - , , - - . . - . /1/. - . , , , r . Alm , rr A(r , t ) . rr rr H int =-(1 / c) A(r , t ) j (r , t ) d 3 r , r j - . , , . 1. .., .., .., .. // 37- . ­ .: , 2007. . 38.


.. 1), .. 2) , . , () , . ,
P P P P P P

1)

P

P

2)
P P

, . , , . , , . , , - - . - . . , , , r . Alm , r r r* * * A = ekm c g (r )eikz + im e-i t + ekm ckm g km (r )e-ikz -im ei t , km km ,k ,m r ekm - , , c - , g (r ) - km km . rr rr r H int =-(1 / c) A(r , t ) j (r , t ) d 3 r , j . , , .


() , .. - , . , , . R . () () , . () .
Bent crystal crystallographic o planes at 45
P P

Rectilinear particle trajectory

R/2
Concentration of PXR

. , , . , . R/2 , R ­ . , . , , R . () .


.. - , . , , () . R, R/2 , R ­ . . .
Bent crystal crystallographic plane at 45o nonchanneling
P P

channeling particle

R/2
Concentration of PXR from nonchanneling

particle

R

Focus of PXR from channeling

particles

R R/2 . (, , ) . () .


.. , .. , -, , , /1/. /2/ ±g. , , , , . , . , , /1/. . 1. ., ., ., ., . . -.: , 1968, 575 .. 2. .. - // XXXVI , , . , 2006, .64.


.. , , . , .. . 1 30 , . . .. ( ). , . , , , , . , . . . , , . , , . . INTAS Grant 061000012-8972


, .. , , , . . , , () (). , . , . , . () : , ­ , ­ .



1)
P

2)
P P

.. 1) , .. 1), .. 2) , , . .. , ,
P P P P P P

/1/. ~ 1 . /2,3/ , , , . , /4/. ( 08-01-00288- 0802-00173-), ( .2.1.1.1.3263) . 1. - .. , , - . , 1969, 457 . 2. Shul'ga N.F., Syshchenko V.V. // Nucl. Instr. and Meth. 2005. V. B227. P. 125. 3. .., .., .. // . 2008. 3. . 1. 4. Sanin V.M. et al. // Nucl. Instr. and Meth. 1992. V. B67. P. 251.


.. , .. , , . , . , , .. , . , 10 , . () . , , . , , . , . , ( 0.1 -0.4). , . , , - , . , , .


.. , .. , .. , .. , . , /1-4/ , , . . ( 05-02-17648 08-0200816), . 1. .. . // , 1987, .93, . 6(12), .1942-1950. 2. .. . // , 2007, .33, .14, .87-94. 3. .. . // . , 2006, N 4, . 72-85. 4. .. . // , , N 3, 2001, .53-65.



1)
P P

.. 1), .. 2), .. 2) - « » . .. , . , 2) . .. , . ,
P P P P P P P P

/1, 2/ , , , , . , (. /2/). , /1, 2/. , . - . ( 07-02-96406). 1. .., .., .. // . . . ., 1991, . 55, 8, . 1. 2. .., .. // . , 1996, . 62, 4, .20.


, ,
1)
P P

.. 1), .. 1) .. , . ,
P P P P

, . {f(xi, yi)}. , .. . . , , /1/. /2/. (), . , , , , . , ­ . , .
B B B B

1. . - .: , 2005, .672 2. .., .. // , 2004. .3, . 144


..1), ..1), .. 1), .. 2) .. 2), .. 2). 1) , . , 2) . .. , ,
P P P P P P P P P P P P P P P P

(), . ( , ). , , . , , . . 7 , . 900 , 830 750. , - /1/. , , . « » ( .2.1.1.3263) ( 0702-12226-).
TP TP TP TP TP TP

1. Astapenko V., Nasonov N., Zhukova P. // J. Physics. 2007. V.B40. P.1337



1)
P P

.. 1) , .. 1), .. 1) , . ,
P P P P P P

/1/ . (dE/dx). , /1/ . , (dE/dx) SRIM'06 /2/. /1/ , , , . 1. Kuzmin E.S., Tarasov A.V. // Diffractionlike effects in angular distribution of Cherenkov radiation from heavy ions, Rapid Communications JINR 4, 1993, .64. 2. Ziegler J.F. // The Stopping of Energetic Light Ions in Elemental Matter J. Appl. Phys / Rev. Appl. Phys., 85,1999, .1249-1272.


. . , . . , . , /1/ ( RCE). ( ) (., , /2/, /3/). RCE RCE -- /4/. /5/ RCE . , RCE . , , . . , , . , , . /4/. 1. 2. 3. 4. 5. Okorokov V. V. et al. // Phys. Lett., 1973, A43, 485. Shindo S. and Ohtsuki Y. H. // Phys. Rev. B, 1976, 14, 9, 3929. .-. . .: , 1985. 280 . Azuma T., Ito T., Takabayashi Y., Komaki K., Yamazaki Y., Takada E., and Murakami T. // Physica Scripta, 2001, T92, 61. Pivovarov Yu. L. // Nucl. Instrum. Methods, B ,1998, 145, 96.


(0001) MoS2:
B B

.. , .. - . .. , . , (), . /1-2/, () . . MoS2 /3/, . /1/. ( () ) . : , , ., . .
B B

1. Komolov S.A. Total Current Spectroscopy of Surface.-Philadelphia, USA: Gordon & Breach, 1992. 2. Strocov V.N. // In: Electron Spectroscopies Applied to Low-Dimensional Materials /Edited by H.I. Starnberg, H.P. Hughes/.-Netherlands: Kluwer, 2000, p.161. 3. Panchenko O.F., Panchenko L.K. // Surf. Sci., 2006. V.600. P.3830.


.. , .. . .. , . , . [1,2]. [3]. , . . , [4], , . , . . , . 1. Ter-Mikaelian M. L., High-Energy Electromagnetic Processes in Condensed Media, Wiley Interscience, New-York, 1972. 2. Akhiezer A. I., Shul'ga N. F., High-Energy Electrodynamics in matter, Gordon and Breach, Amsterdam, 1996. 3. Shul'ga N.F., Boyko V.V. //JETP Letters, 2006, Vol. 84, No. 6, pp. 305-307. 4. Shul'ga N.F., Boyko V.V., Esaulov A.S. //Phis.Lett. A, 2008 (in press)


.. - , . , -. . /1/. . - . - -, /2/ . .

1. Shchagin A.V. Focusing of radiation from relativistic particles. Book of Abstracts. 2nd International Conference on Quantum Electrodynamics and Statistical Physics, September 19-23, 2006, Kharkov, Ukraine. National Scientific Center "Kharkov Institute of Physics and Technology", 2006, P. 93. .. // 2004. .80. .535-540.

2.


, .. , .. - , 61108, , . - , P1 r P2 P0 V r P3 P0 . V a P4 r V r Pi r = r0 exp ( / tg ) , - r - r , - C C. Pi , a , . , , .
B B B B B B B B B B B B

= 2 cVa -1 c - V 0 cos , . , (). . . , , . a . . - , H = ( EV sin ) ( ecr ) . -, , , a . 1030 1911.

-1


- .. , .. - , . , , , , (, , /1/), .. - 1.74 (., , /2/). , . -. - . , /3/, /4/. , - . . . 1. 2. 3. 4. Shchagin A.V., Pristupa V.I., Khizhnyak N.A. // Phys. Lett. 1990. A148. . 485-488. .. // , 2004. .80. . 535-540. Shchagin A.V., Pristupa V.I., Khizhnyak N.A. // NIM 1994. B48. . 9-13. LLNL Evaluated Electron Data Library (EEDL)


() 0.5 ­ 3.0 .. , .. , .. , .. , .. , .. - , . , , 2005 ­ 2007 . ( , ). , 0.5 ­ 3.0 , , . Si(Li) . , . , . Si Nb 2.5 .


.. , .. , .. , .. , .. , .. - , . , , 2006 ­ 2007 . , . . . , . Si(Li) Ge(Li) , - (CsI) . , LiNbO3 , , .. 10-2 10-4 . . -500 +1500. [1,2]. , 1911.
B B P P P P P P P P

1. .., .., .., .. // . « » .5. .254 ­ 259. .., .., .., .. // . 2007. .3. .1-9. .., 2006. ..,

2.


.. 1), .. 1), .. 1), .. 1), .C. 2), .. 1), .. 1) 1) - , . , 2) , . ,
P P P P P P P P P P P P P P P P P P

LiNbO3 . , 100, , , . , /1,2/. . , , , , . . 1911.
B B

1. .., .., .., .., .. // . « » 2006. .5. .254 ­ 259. .., .., .., .., .. // . 2007. .3. .1-9.

2.


A.. , .. , .. . .. "", . , /1/, - /2/. , , . , /1, 2/. , , SLAC E-146 /3/. 8 25 , : ( -) /4/. SPS CERN NA-63 /5/ 200 . CERN . , -. 1. 2. 3. 4. 5. .., .. // , 1978, . 27, . 117. Akhiezer A.I., Shul'ga N.F. and Fomin S.P. Landau-PomeranchukMigdal Effect - UK, Cambridge Scientific Publishers, 2005, 215 P. Anthony R.L. et al. // Phys. Rev. Lett., 1995, V.75, P. 1949. Klein S. // Rev. Mod. Phys., 1999, V.71, P. 1501. Uggerhoj U.I. et al. // Phys. Rev. D, 2005, V.72, P. 112001.


.. School of Mathematics, University of Minnesota, Minneapolis, MN 55455, USA , - ( ) . , () . .



1)
P P

.. 1), .. 1) , . ,
P P P P

, /1/. . : , ; . . · , . · . · /2/. 2. 2. .., . ., . . . ­ : , 1989 ­ 400 . Bogdanov O. V., Korotchenko K. B., Pivovarov Yu. L. J. Phys. B: At. Mol. Opt. Phys. 41, 2008


III ,


Cu2
B B

2)
P P

.. 1), . 2), .. 1) , . , Institut fur Allgemeine Physik, Technische Universitaet Wien, Wien, Austria
P P P P P P

1)

P

P

, - , /1/. . - , 27 75 Cu2 100, 200 400 . Xe Cu 50, 100 200 . , Cu2 Cu , . Cu . Cu2 Xe Cu Xe . Cu2 ~ 1.2 - 1.3 Xe, . , Cu , ­ , Cu Xe.
B B B B B B B B

1. Bouneau S., Brunelle A., Della-Negra S., Depauw J., Jacquet D., at el. // Phys. Rev. 2006. B 65. P.144106-144112.


- Cu2
B B

2)
P P

.. 1), . 2), .. 1) , . , Institut fur Allgemeine Physik, Technische Universitaet Wien, Wien, Austria
P P P P P

1)
P

P

/1/, Ar Xe . /2/. - /1-2/ , (. .), Cu2 100, 200 400 , 27 75 . Ar, Xe , Cu 50, 100 200 .
B B

50
100 eV 200 eV 400 eV approx. approx. approx. Cu2 Cu2 Cu2 100 eV Cu2 200 eV Cu2 400 eV Cu2

40

Energy, eV

30

20

10

.1. Cu27 100, 200 400 Cu2. 5- .
B B B B

0 0 20 40 60 80 100 Polar angle, degrees

1. Kornich G.V., Betz G., Zaporojtchenko V.I., Bazhin A.I., Faupel F.// Nucl. Instr. and Meth. B. 2005. V.227. P.261. 2. Kornich G.V., Betz G., Zaporojtchenko V.I., Pugina K.V. // Surface Science. 2007. V.601. P.209.


Au400 C 180 /
B B

.. .- , -, Au400 ( 180 /) ( 6 12 ), . , ( ). , ~10% ( ) " " /1/. , . . " " /2/, (2Â12) ( ) Au400 180 / (.. ). .
B B B B

1. ..// XXXVII (, 29-31 2007 .). . .. . ­ .: - . -, .: - ,2007, 177 . ­ .88 2. Baranov I.A. et al. // Proc. Int. Conf. "Desorption 2006", September 3-7/ 2006 Athens, Greece, Book of Abstracts, P01.


.. , .. , .. , , . , 10- 100 , 10 . . . . . . , . , , , , . , ­ . - . . 1. 2. 3. 4. Kentsch U., Landgraf S., Schmidt M., Tyrroff H., Zschornack G., Grossmann F., Ovsyannikov V.P., Ullmann F. //Nucl. Inst. and Meth. in Phys. Res. 2004. V. B 216, p. 196. Masahide Tona, Hirofumi Watanabe, Satoshi Takahashi, Nobuyuki Nakamura, Nobuo Yoshiyasu, Makoto Sakurai, Chikashi Yamada, Shunsuke Ohtani Nucl. //Inst. and Meth. Phys. Res. 2007. V. B 258, p. 163. Insepov Z., Allain J.P., Hassanein A., Terasawa M. //Nucl. Inst. and Meth. in Phys. Res. 2006. V. B 242, p. 458. M. Terasawa, Z.A. Insepov, T. Sekioka, A.A. Valuev, T. Mitamura //Nucl. Inst. and Meth. in Phys. Res. 2003. V. B 212, p. 436.


1 10 .. - " " . .. , . , p , . , min J, min (mev2 /FM), E ; : me ­ , v ­ , FM ­ , v vef . max E, , /1/, ( ) Em Ep. Ep S : 6C, 13Al, 22Ti, 47Ag, 79Au 1 10 . S /2, 3/, S /4/.
B B B B B B B B P P B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B

1. 2. 3. 4. .. // XXI , , 2006, . 103. Northclifte L.C., Schilling R.F. // Nucl. Data Tabl., 1970, Vol. 7A, No. 3/4, p. 233-273. Andersen H.H., Ziegler J.F. Hydrogen: Stopping Powers and Ranges in all Elements, Pergamon Press, 1977. Kaneko T. // Phys. stat. sol. (b), 1989, v 156, No. 1, p. 49-63.


,
1)
P P

.. 1), .. 2), .. 2) - " " . .. , . , 2) . .. , . ,
P P P P P P P P

, Z Z-1/3 ( ­ , 0,529 å). , r0,5 = 1,33Z-1/3 /1/. 13Al r0,5 =0,299 å r. = 1,43 å, 29Cu r0,5 = 0,229 å r. = 1,28 å, 47Ag r0,5 = 0,195 å r. = 1,44 å 79Au r0,5 = 0,164 å r. = 1,44 å. , h Ltr., , r0,5. . , Ltr., Z . /2/. , , . , h.
B B P P B B B B B B P P B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B

1. 2. .., .. . . : , 1974, 607 . Mikheev N.N., Stepovich M.A. // Materials Science and Engeneering. B, 1995, v. 32, No. 1-2, p. 11-16.


He+ Ar+
P P P P

.., .., - ( ), , ( ­ W1 W1%Re ­ W2) He+ Ar+ = 10 100 500 () 1â1018 1â1020 /2. . Sp . 1, Sp , , He+ W1 Sp, W2 Sp. Sp W1 , W2 , -, ( ). Ar+ Sp .
P P P P P P P P P P P P P P P P

1. Sp, ./ , /2 He+ Ar+ = 10
P P P P P P

He He Ar Ar W1 W2 W1 W2

(1-2)â10
P U U

18
P

(5-7)â10
P

18
P

(1-2)â10
P

19
P

(0,8-1)â10
P

20
P

(9,0+1,0)â10
P

-2 -2
P P

(9,0+0,3)â10
U U P

-2 -2
P P

(8,0+0,5)â10
U U P

-2 -2
P P

(7,3+0,5)â10
U U P

-2 -2
P P

(1,1+0,5)â10
U U

(1,3+0,3)â10
U U

(1,4+0,5)â10
U U

(1,0+0,5)â10
U U

4,0+0,5
U U

3,5+0,2
U U

3,6+0,2
U U

3,3+0,2
U U

3,7+0,5
U U

3,2+0,2
U U

3,1+0,2
U U

3,2+0,2
U U

, . 5â1018 /2 «» , - . - , . 06-08-08180-.
P P P P


, , SiC
1)
P

.. 1), .. 1), .. 1), A. HallÈn 2) - , 2) Royal Institute of Technology, Stockholm, Sweden
P P P P P P P P P P

, , , SiC . /1/ , , , , , . ... , . 6H-SiC, c PFn+ (n = 0, 2 4) 1.3 / .... . , , .. , SiC. . (ZnO GaN)/2/. , , SiC. 08-08-00585.
B PB P

1. .., .. // 2007, .41, . 7 2. Azarov A.Yu., Titov A.I., Kucheyev S.O. // XVIII 2007, , . 2, . 235.


GaN .. 1) , .. 2) , .. 2) , .. 2) , 1) Lawrence Livermore National Laboratory, Livermore, USA 2) - ,
P P P P P P P P P P P P

GaN . , P+ 40 GaN. . (), . 40 keV P into GaN at RT 1.0 Flux = 1.9 10 ions cm s Dose, cm 5e14 (~17 1e15 0.8 2e15 ) 3e15 GaN 5e15 0.6 7e15 . 1e16 1.5e16 0.4 0.2 , 0.0 0 20 40 60 80 100 Depth, nm . GaN. , , TRIM /1/. . , . , , . 08-08-00585
P P

+

12

-2 -1

-2

Relative disorder

1. http://www.srim.org/
HTU UTH



1)
P P

..1) , ..2) - 2) - ...
P P P P P

, , () /1/. . ( 900 ) ( 8 ) , FZ-Si 4H-SiC (CVD). ( ) - 1 ( ). SiC DLTS. Si SiC . , ~ 2.0 -1, 1.3 -1 , , 610 285 -1 - . , , , . , , . , . . , FZ-Si 4-SiC (CVD) ( 0.1 -1 150 -1 ), . (SNSF IB7420-111116).
P P P P P P P P P P

1. .. . - .: , 2003, 268 .


- .. 1), .. 1), ..2), .. 1), .. 1), ..3) 1) , , 2) «», , 3) . .. , ,
P P P P P P P P P P P P P P P P P

- -1 ( = 0 ­ 80o) Ar+ 30 1018 ­ 1019 /2 ­ 180 400 . (), () (). (T) , , Ar+ N2+, -1 N2+ . , -, , (,) , . -1. . , .
P P P P P P P P P P P P P P P P B PB P B PB P


Cu CuPt Ar 1­80 . . , , - . () ­ , ­ 0,5 2, 20 , ­ «».
P P

, «» . CuPt Ar 1­80 . [1], Cu Pt . , Ni-Pd [2]. , , 5­14 at.% Cu, Cu2Pt3. 10­40 , . .
B B B B

1. 2. Andersen H.H., Stenum B., Sorensen T., Whitlow H.J. //Nucl. Instr. and Meth. 1983. V.209/210. P.487 Shulga V.I. //Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. B (in press)


.. , .. , .. , .. ( ), , SCATTER /1/ . , XZ (. .), Z . z(xi), xi = ix. . , () «» . , . SCATTER. , / . . . , .
B B B B

1. Kurnaev V.A., Trifonov N.N. // Physica Scripta, 2003, v. T103, p. 85.


, .. , .. , .. , .. , .. , .C. , . , , . , , , , . , . , . , () . , - , . 65, 450 121810 , , . , , , , . . , . 600° , . , . 121810 : 7 , .


In, As Si SiO2
B

.. 1), .. 2), .. 2), .. 1) . .. , , , 2) . -, . ,
P P P P P P P P P P P

2)
P

SRIM'2006. (.), ( ). «» «» In As Si ( SiO2).
B B

7 6 Srim-2006 calculations: In As

6

As implanted In

5

, .%

, .%

5 4 3 2 1 0

4

3

2

1

0

100 200 300 400 500

0 0 100 200 300 400 500

,

,

. () () In As




- Ni (110) +
P

. , , /1/ . /2/ L3VV - L VV ( = 89 o , ) Ni (110) + 0=150 ( ­ , - ). L VV (, ) [2]. B B P P B B

.1.
1,5 1 0,5 0

0

-6

-3

3

6

H+Ni(110), E0=150
P P B B

.1.

0=150 ­ R=0,19å, ­ bm=0,21å, L=4,6*10-222, d100=3,52å ­ . ()=d(1-cos2*cos2)1/2. 0arcsin(RT+bm)/d=6°. . [100] . bm>RT, (=0)=0,018 (..). . - .
B B B B B B B B P P P P B B P P P P P P P P B B B B B B P P B B B B

1. 2. .., ..// , 1984, 6, .22-28. Schuster M., Varelas C.// Nucl. Instrum. And Methods. Phys.Res. 1985. Vol.B9, N2. P.145-162.


.. , , I(R) d : I(R)=I1(R)+I2(R). bm, . I1(R) bbT; I2(R) ­ c bbT.
B B B B B B B B B B B B B B

1 4 ( A-d ) 1 2 4 ( A + d ) I ( R ) = [(1 + ) + (1 + ) 4 R2 R2 A + 2 A + 2 ] + + 4 ( A-d) 12 4 ( A + d ) 12 A(1 + ) A(1 + ) 2 2 R R

1

2

+

A = (R 2 + d 2 ) 2 ; =

1

Z

2

8 0 E

,
0

Z ­ , ­ , 0 ­ .
B B B B

, R 0 I ( R) = 1, R

, , . 45N23V 0(110) .1. 0=1,5, ­ , =450 ­ (=450)5*10-4(..)
B B B B B B B B P P P P P P

4 3 2 1 0
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90



.1.


.. . .. , , , , (2-3) ·103 , . , , , , , /1/. . /2-5/. /3-4/ . , , . , /2/.
P P

1. 2. 3. 4. 5. .. . - .: , 1970. Benilov M.S. // Phys. Rev. E. 1998. V.58. P.6480. Botticher R., Botticher W. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2000. V.33. P.367. Botticher R., Botticher W. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2001. V.34. P.1110. Juttner B. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2001. V.34. P.R103.


.. 1), .. 1), .. 2), .. 1), .. 1), .. 1) 1) , , 2) «», ,
P P P P P P P P P P P P P P P P

­ N2+ 30 . -1 . -1 [001], . 50. - 70-90 700 1.41019 /2 51020/2. Axiostar plus. , . . 7090 1.41019 . . , , /1/. - , () . .
B PB P P P P P P P P P P P P P P P P P

1. Niwase K., Tanabe T. // J. Nucl. Mater. 1991. V.179-181. P.218.


30 .., .., .., .. , , , -1 N2+ 30 60 [001] ~ 400oC , /1/. , , . , , -1 . Y() -1 Ar+ 30 T = 400oC , /1/. , () . , T = 400oC, , TRIM.SP. Y . , - , , -1, T = 400oC. , , , N2+ T = 400oC.
B PB P P P P P P P P P P P P P B PB P P P

1. Borisov A.M., Mashkova E.S., Nemov A.S., Virgiliev Yu.S. // Nucl.Instr. Meth. In Phys.Res. B. 2007. V. 256. P. 363.


, .. , .. , .. , .., .. , .., .. , , -1 N2+ Ar+ 30 1018 ­ 1019 /2. - (), (), (). - . , -1, . , ~ 20 .% (RT) . RT ( g = 2.0027 ­ 2.0029), , . (), 1:3:6:7:6:3 14 N. -1 , A = 0,3 , ­ A = 0,1 . . .
B PB P P P P P P P P P P P


.. 1), .. 1),... 1) , , ; 2) , ,
P P P P P P P P P

2)
P

() (). () 5 . 20 . 13-16 / , . (), () () (), . () . «EVO 40» (Zeiss). - -7305. (), . (), , - ­ () = 4,3 10-24 -2 5 . . 0,76 1,07. NASA PEACE 0,79 0,97. . , , , , . . 07-08-13656.
P P P P


.. , .. , .. , .. , .. ( ), , . 11 2, , (20, 50, 100 ) . . 1600 ° < 10-5 . : D2+ 10 300 , D3+. , ­ 350 °. 1-2 . , , , 400 ° . , . 450-500 °, 600 ° 750 °. 950-1050 °. , . , , . , . , . . , .
P P P P B PB P B PB P


. .
P

, , . c , /1/. , , . /2/ . /3/. . , . , ( ). ­ . . ­ . 1. 2. 3. . . . ­ : - -, 2005. ­ . 102 Tolmachev A. I. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, 1994, V. B 93, P. 415. Falcone G., Forlano L., Tolmachev A. I. // Physical Review, 1999, v. B 60, P. 6352.


(111) Ni (001) Ni .. -, .. . .. , , , (111) (001) ... . , . (111) Ni (001) Ni . . (111) Ni E0 5 55 . E0 6 "" . (001) Ni E0 5 , 2 , (111) Ni. 2b ­ , d ­ , E0 -. , , , E0 ( 0.5 < cos 2 < 0.75 , sin = b / d ) "", . E0 ( 0 < cos 2 < 0.5 ) "", . E0 , d < b , , . , , , .
B B B B B B B B B B B B B B


GaN GaAs, Mn
P

+
P

.. , .. . .. , 603950, . , GaN GaAs, 55Mn+ 50, 100 200 , ( 50 ) -102. : GaAs (100) GaN 1 , . 1â1013 5â1016 -2. GaAs Mn+ 1â1013 -2 . Mn+, 50 , 1â1014 -2. 5â1016 -2 ~ (3Â4) â Rdm, Rdm ­ , TRIM. () 400°. , 600°, , . = 700 Â 900° 5â1016 -2 ­ . Mn+ GaAs . ( ~ 20 . % ), . GaN, Mn+. , 5â1016 -2. : , . :Nd ( 14 , 532 , 0.3 /2) . . .
P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P B B B B B B B B P P P P P P P P P P P P P P


- GaAs .. , .. - - , 603950, . , - , GaAs, . , , InGaP/GaAs/InGaAs , GaAs , "" . , , / . n- p- ( 1-2â1017 -3) , . ( 0.1-0.15 ) GaAs, > 1â1018 -3 - () (Mg, Mn). GaAs (100). + 80 . 2-3â1018 -3 Rs 4 : (1) Rs 1â1012 -2; (2) ( 5 ) Rs; (3) Rs109 , (4) Rs, ( 0.38 ). (>5â1018 -3) ( 3) Rs. Rs . Rs . , , .
P P P P P P P P P P P P P P B B B B P P P P B B B B P P B B P P P P B B B B B B



1)
P P

..1) , ..2) - «» 2) -
P P P P P

, () , , , (). . . (), , . , . , Ni-SiC , - . , . , , . . . - , . , , Ni-SiC.


.. , .. , .. - , -, . , . , , . , , , , , , a . . , . , , , . , . , TRIM /1/. , , . . /2/ ZnO PFn. 08-08-00585
B B

1. http://www.srim.org/ 2. A.Yu. Azarov, S.O. Kuchyev, A.I. Titov, P.A. Karaseov // J. Appl. Phys. 2007. V. 102. P. 083547.
HTU UTH


- .. . .. , ,
P

/1-2/. SiC . , . , , SiC . . . , . , - . - . - . 1. Aumayr F., Winter H.P. //Phil. Trans. R. Soc. Lond. .2004. A 362 p.77. 2. Ghose D., Karmaker P. , Parilis E. // Nucl. Instr. Meth. 2003. B212 p. 420.


.. , .. , .. . .. , , () (). : (, ), , , , () . () () [1], , , , , . () () (C2H5)2N+CH2 ( m/e=86), , , , -C ( (C2H5)2N+CH2 ). (C2H5)2N+C2H4 (m/z=100), , , , -H ( (C2H5)2N+C2H4 (m/z=100).
B B B B B B P P B B B B B B B B P P B B B B B B B B P P B B B B B B B B B B P P B B B B

1. .., .., . , , 1991, .204.


- .. , . . .. , , () , - - - (/) , . -1320 - , "" , :- , , , . , . - , "" . - ­ + ( ), ,(-)+,, (--2nH)+ (-R)+, (-R-2nH)+, (: ­ , ­ , R ­ ). - "" m/z=340-332 326-318 . m/z=144, 146 . ~750 . - m/z 220, . / "" , - - , . / - (-6890) .
P P B B B PB P B B B PB P B PB P B PB P


- .. . .. , , , Y() Y ( cos( )

)

-1

, -

. Y() (), . Y() [1]. Y() O, CN , 400900 . : 1. (<5%) = const , . 2. , , . , , - . . 1. . ., . ., ..// . 1989. T.158. N3. C.389.


Pd Pd-Ba .. , .. , .., .. , . , - Pd-Ba Pt-Ba ( Ba 1 .% 4 .%). (H2, N2 ) 2 ­ 3 (m = 3 ­ 3,5) /1/. m Ba+ Na+ . Pd-Ba, .
B B B B B B B B P P P P

m e Pd-Ba = 1000 ­ 1200 + * 2+ * . . . . . N2 O2 H2 2,5 3,2 3,4 4,2 9 4 m 2,2 2,1 2,1 2,1 ­ 1,9 e, * ­ 0 = 0,5 , D = 6·1016 -2.
B B



P

P

P

P

B

B

B

B

B

B

B

B

B

B

P

P

P

P

m (, , ). /1/, Pd-Ba 100 . Pd-Ba, , . - Pd-Ba .
B B

1.

.., .., .., .. . . , . 1. 1985, . 49 ­ 54.


- .. , , - , , . , ­ -. , , , /1/. l KBr Ar Kr I~10-12A/c2 , 1 50 . 45 -142. : 1. 0 > , , , . 200-250 . 2. 0 < , , , , 300-350 . , -. , .
P P P P P P B B B B B B P P B B B B B B P P

1. .., .. // XXXVII . . . 2007. . 158.


, .. , .. , .. . .. , () , () . (100) Cu. <001>. {001} . , . =0° =45°, .. <100> <110> . , =0° =45° (100) Cu ~ 1,5-2 . . , , , . () r r ( k , ) , .. q . , . Ag(100). - <110> 1,5 . , {110} : .


.. , .. , . ,
P P

. - , Ni-Cu, Al-Ag. , . . , . , . , , , , . . . . , ­ , , . , , , , .


-
1)
P

.. 1), .. 1), . 2) , . , 2) Inst. fr Allgemeine Physik, Technische UniversitÄt Wien, Wien, Austria
P P P P P P P P P

. . - . , 13 27 . . AIREBO /1/ , /2/ , - - - -- . - - /3/. . , . . 1. Stuart S.J., Tutein A.B. and Harrisson J.A. // Journal of Chemical Physics, 2000, v. 112, p. 6472 2. Betz G., Husinsky W. // Nucl. Instr. And Meth. In Phys. Res. B, 1995, v. 102, p. 281 3. Ellis D.E., Mundim K.C., Fuks D. et al. // Materials Science in Semiconductor Processing, 2000, v. 3, P. 123


., . , ., . , . , , . , (). ( ) xc, . . . 10-12 , , ~ E-2. , , «» (Td) : kTd Ec kT ln Eo ( kT ) , (1)
B B P P P P B B

= (4M 1 M 2 ) (M 1 + M 2 )2 , ( ­ (1) (2)). (1), , :
P- =

- 0

E E
sbe

sbe

e2 + 2 xc

- ( Ax ) exp - , Ec

P+ =

+ 0

E E
sbe

sbe

e2 + 2 xc

(I ) - exp - x Ec

,

(2)

- , Esbe - , x ­ Ix- x . , . : .
B B B B B B


IV


- - .. 1), .. 2), .. 2) , .. 3), . . 3) 1) , . , 2) , . , 3) . .. , . ,
P P P P P P P P P P P P P P P P

() /1/. . - « - » . 1,5 - . . 8-12 /2. , Ti5Si3. . 0,3 , ­ 5 , ­ 0,5 . . - , .
P P B B B B

1. Astashynski V.M., Ananin S.I., Askerko V.V., Kostyukevich E.A., Kuzmitski A.M., Uglov V.V., Anishchik V.M., Astashynski V.V., Kvasov N.T., and Danilyuk A. L. // SCT. 2004. Vol. 180-181. P. 392395.


- .. 1), .. 2), .. 3), .. 1), .. 3) 1) , , 2) , , , ,
P P P P P P P P P P P P P P P

3)
P

/1-3/ (""), , . /1-3/ ( 10 100 ), (0,1-0,8 ) (1-2 ). , . . . . 80-100 5-25 /2 6-10 . -. , . , . , , , . . .
P P

1. .., .., .. . // , 2001. . 74, . 4, . 234-236. 2. Uglov V.V., Anishchik V.M., Astashinski V.V., et al. // Surface and Coating Technology 2002. V. 158-159. P. 273-276. 3. Astashinski V.M., Ananin S.I., Askerko V.V., et al. // Surface and Coating Technology 2004. V. 180-181. P. 392-395.


.. , .. , .. , . , , . , ( ) , (). , , (?) . ( SiO2) , , , . ( ) () , . SiO2 . 200 . 100° . «» - (30% 70% ) 300 , 60 , 20 /2. , Ag , . =405 , . ( 5) Ag - , . Ag , . Ag .
B B B B P P


Al- .. , .. , .. , . , , . , () . . , , , , . , , . , , . «» - (30% 70% ) 300 , 60 , 5 -150 /2. , , , . , . , , 30 / 2. , (~ 5-10 / 2) - , . . , .
P P P P P P


.. 1), ..
P P P

1,2)
P

, .. 1), .. 1)
P P P

2)
P P

, . , , . ,
P P

1)

, () , , . , , , , . - . , . ( ) 20, 6. "". . . , , , . , , , . , , . , , . .


.. , .. . .. , , . ( 6 , 1015-1017 -2) () in situ (=10-8 ) VG ESCA 3 Mk II. - V 2p , 5 - V 2p3/2, 512,4, 513,6, 515,2, 515,8 517,2 . - V VO, V23, VO2, V2O5 . , 1â1015 1â1016 -2 , , . 1â1017 -2 . VO, V23, VO2, V2O5. VO V23 , VO2 V2O5 . , : . . , 15º 55º V VO, V23 , VO2, V2O5 . , - . , .
P P P P P P P P B B B B B B B B B B B B P P P P P P P P P P B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B


GaAsN .
1)
P P

.. 1),2), .. 4), .. 1),2),3) «- - », .-,
P P P P P P

3)
P P

- . .. , .-, , .-, 4) - "", .-,
P P P P

2)

GaAs . , : (~1 ) Au, Au-Ga GaAsN GaAs Ar N2. 10 200 3000 . , , , , , . , , . ­ , . , , -, . , . . . . « ».
B B


.. , .. . . , , , , : , , , , . Cr . , /1/. 200 1100 . 10 . 25 2 24,27 . ~200 ~28%. ~500 , ~1100 34,36 (~141,5% ). , Cr 10 .% ~ 0.6 .% /. ~ 0.5 .% 350 , - Cr . . , ~400 , . , , ­ . , , , Cr , , .
P P

1. . 2324 ( )/ .., ..


/ - .. , .. . . , , , , / . , / . , Mo, Ti, Zr 3 . 10-2 . , (, /), , , /1/. Pin Pull Test. , , . NICON 8800. , Pin Pull Test , Ti, Zr, Mo, 3 , , . , -, , .
P P

1. Sigmund P. // Appl. Phys. Letters, 1974, V. 25, P. 169-171.


Ti Co . . , . . . . , , (Ti, o) ( 10-2 ). (100) Si. 0.2-0.4, 0.3-0.4 /. / , () He+ E0 = 2.0 , 1=0o, 2=12o, 3=168o RUMP [1]. / He+ 2.0 [2]. , , +, - . , . . , 10 3â1014 -2, ~ 20 20 () 2 , . 20 2,9 .% 3,2 .%, .
P P P P B B B B P P B B P P B B P P P P P P P P P P

1. 2.

Doolittle L.R. //Nucl. Instrum. Methods in Phys. Res. 1985. - V. - B 9. P. 227-231. BÆgh E. // Canad. J. of Phys. 1968. V. 46. P. 653-659


- , .. , .. , .. , .., .. , .. , .. , .. , . , , , - , , , , . , , . , , . , , . , , , . , , , . , , . - , . , . , ­ . , - : , - . . - . , , , - .


.. 1), .. 1), .. 2), .. 2), .. 3), .. 3) 1) , . , 2) , . , , . ,
P P P P P P P P P P P P P P P P

3)
P

. , - , , , .. 1-0 . - 50 . 12-25 /2. 1 (H2SO4+H2O) 2 0,5 /2. . - . . . , . , .
P P B B B B B B P P


.. , .. , .. , . , , Fe-18Cr-14Ni-2Mo (. %) (~ 20 /2), , . , Fe18Cr-14Ni-2Mo , , 77 ( 2-3 ) 0,2 . , - = m0,2 (m ­ ): [012] «», .. , «» [011] : [012]>[011]. a/2<110> a/6<211>: «» [011] , . «» [012] . 77 . Fe-18Cr-14Ni-2Mo . , . . .
B B P P B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B


- ..1, ..2, ..1, ..2, ..1, ..2, . 1 1) , , «» - .. , ,
P P P P P P P P P P P P P P P P

2)
P

() 5-8 (), - . -. 16 (1,45 / NaOH 6 / ) . 10 /². 10 80 . «» 130 -1 .4.2 22 . -201. . 7,6 . 0°, --160°. , () - -. 5 ­ 30 16 , 10 - 20%. . -.


.. 1), .. 1), .. 1), .. 1), .. 2), .. 2), .. 2), .. 1), .. 1) 1) , , 2) - . .. , ,
P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P

­ ­ . , , . (), . o Ta E = 7,6 , = 160º (Hf) (HfHx) HfHx . , Hf Hf , HfHx . . . HfHx , . HfHx 100 . , , (=1.6-1.8).
300 00 200 00
B B



100 00

B

B

0

50

75

1 00

12 5

150

175

200

2 25

250

B

B

B

B


.. 1), .. 1), .. 1), .. , .. 2), .. 2), .. 1), .. 1) 1) , , 2) - . .. , ,
P P P P P P

2)
P

P

P

P

P

P

P

P

P

P

P

P

P

P

[1] () , , , , , , . 7-8 . , , 700-800 0 . (- ) , . ­ , , , . , . .
P P

1. .., .., .., .., .., .., .., .., .. . . XXXVII . . / . . .., - .: , 2007. .122.


.. , .. , .. , .. ( ), , . , , . , , . -2 . 14x30 , , . - . Pfeiffer QMS Prisma 200. , ; . 1. , . : .

. 1. , .


.. 1), C.C. 1) , .. 1), .. 1) , .. 2), .. 2), .. 2), .. 3)
P P P P P P P P P P P P P P P P

1)
P P

, . , 2) , . , 3) Evonik Technochemie GmbH, Dossenheim, Germany
P P P P

() [1] Ar+ 600 720 . 21014 11018 /2. . [1]. , [2], C1s , ­ . F1s . C KVV .
P P P P P P P P

1. Chebotaryov S.S., et al. Modification of X-ray excited photoelectron and C KVV Auger spectra during radiative carbonization of poly(vinylidene fluoride) // Physica E: Low dimensional systems and nanostructures. Elsevier science. 2007. V 36 (2). ­ P. 184-189. .. . // III -, . -­. 2007, . 103-104.

2.


.. 1), .. 1), .. 1), .. 1), .. 1), .. 2) 1) , , 2) « » , ,
P P P P P P P P P P P P P P P P

, , - . , . Ti-Cr-N ~3,5 - 3 (15 ). 500 1000 ° 1 . - . . , . 500 ° . 800 ° Cr2O3. « ». (Ti,Cr)N . , , «-» .
B B B B


, 510 .. , .. , .. , .. , .. , , TiN, rN . TiN rN , 510. TiN rN. . , , 870-1170 . , 510 . , Ti/CCr=0.8-1.2 , (Ti,Cr)N. 1.2 ( Ti Cr) (Ti,Cr)N+TiN (Ti,Cr)N+r. , 510 WO3 TiO2 800 . . ­ (Ti,Cr)N.
B B B B B B B B


-- .. 1), .. 1), .. 1), .. 1), .. 2), .. 2), .. 3) 1) u e, , 2) . .. , , 3) « » , ,
P P P P P P P P P P P P P P P P P P P

() - . , . , , . , . , . 3 , . . , «-». , , - . , ­ . , - -Fe, TiN (200). , -Fe. , .


Ti/C 3 .. 1), .. 1), .. 1), .. 1), .. 1), .. 2), .. 2) 1) , , 2) . .. , ,
P P P P P P P P P P P P P P P P P P

() « - », , , . , ( ), , ~10 . % /1/. , . ( Ti ~2 ). Ti ~1 ( 3 ), , . . , Ti 30 .%. Ti Fe2Ti Fe-Ti. . , -Fe, -Fe Ti. , , .
B B

1. .., .., .., .., .., .. // . 2005. 2. . 36-41.


.. , .. , .. , .. , , - , , . (450 ) , (100 /) /1/. , , : V ; V , . /2-3/. (, ), . - /3/ . . . . 1. Herlach D.M. // Mater. Sci. Eng. 1994. V. R12. N.4-5. P.177. 2. Galenko P, Sobolev S. // Phys.Rev. 1997. V. E55. P. 343. 3. .. . // . 2006. 4. . 35.


- «-5» .. , .. , .. , .. , , /1-2/ , , , , - «5», . «-5» - 120 2, , , , . , 3,5 / - , 40 .% , . , , . , 8-10 . . , -, , , - , . , , , . 1. 2. .. . // . . 2004. 9. . 44 .. . // . . 2004. . 26. 12. . 1645


1612 Ni++ He+
P P P

.. , .. - .. , . , - () , . , . . , , , . , , , ( ) . , . 1612, 500° NI++ c 7 5â1018 5,4â1019 /2. . HE+ /1/. ( 07-02-01353 07-08-13642--).
P P P P P P P P P P

1. .., .. . // . 2004. 4, . 12.


­ .. 1), .. 2) , . , , . ,
P P P P

, Ni-Al. Ni/Al , . NixAly Ar+ Ni/Al. 120 200 , . 80 , 4 27 /2. 300 380°. He+, 2 . . , , . , . . , 400°. , NixAly . , , , 400° , .
B B B B P P P P P P B B B B


Al-Mn .. -1), .. 2) , . , , , . ,
P P P P

1)

P

P

2)
P P

() . . () Al-1.0; 2.1 Mn (. %) . 30-60 5-10 . ~106 /. . ­ () - (). Al-Mn . . 3.0 . , Al-Fe; Co; Ni; Cu; Zn; Ge; Sb, , Al-Mn, . -, , . . 1.5 . -, , . 0.3 . 33.0 . %. Al-2.1 Mn, , . , .
P P


. . 1), ..1), .. 1), .. 1), .. 1), .. , .. 2), .. 2), .. 3) 1 « » 2 , , , ,
P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P

3
P

, . , , , (, .). ( 300 º) . - -4 , . 150 º , 200 º . . , , , (, ). , 200­250 º . ~ 150­200º. , , 10­20 %.
P P P P P P P P P P


-10 .. 1, .. 2, .. 1, .. 2, ..3 1 « », , 2 , , 3
P P P P P P P P P P P P P P P

, -10, . , . -- -4, . . . 50­70 %. (D/C) (4 ) 0,03±0,01 573 . (D/C) TFTR. (H+D) (0,5­0,7). ~573 .


.. , .., .. , , . . , , . . , . , , . , , . . [1], , . , Q* :
Q* = Q0 + T

Es - , T . , .

=

1. . . . . ­ . , 1980, . 43.


.. , . , .. , .. , , Si . 0=0,5-5 D1016 -2 (~50Â100 ) . BaSi2 BaSi. Si ( 500 ) +. : Si + 5, 3, 1 0,5 . (4Â6)1016 -2. - 0,35 - 0,4 . . 1100 . . . W1Â1,5 -2. W 2,5 -2 , . W BaSi2 . (~10 ) =1200 . . - , W 2,5 -2 60 ­ 80 å, = 1100 - 200 ­ 250 å. BaSi2 50 ­ 70 ·. ­ , .
B B P P P P B B P P P P P P P P P P P P B B P P B B


.. , .. , .. , .. , , ( , ) . , - Si (111) 0,3 = 550 ° . . Co+ 1 Si (111). 5·1013 -2 Si 3 ­ 5 . - Si . Si , . Co . = 500 ° Si Co 15 ­ 20 , 40 ­ 50 . d = 1 , d = 5 ­ 10 . , , 1013 1014 -2, 0,5 ­ 1 10 . (0,5 ­ 1 ). 10 10 ­ 15 . . .
P P P P P P P P P P P P


- .. 1), .. 1), .. 2), .. 2), .. 1) 1) . - , . , . , . ,
P P P P P P P P P P P P P

2)
P

, . , , . ­ . - , . d = 35 , . . -6 25 2 0,5 / 2 5 , 200 . (D) ­ 10 - 40 . , 50 5 , . 20 ± 2 45 ± 5%, 36,09 ± 0,05 /. , , 0,1 . , 120%, ~ 175 , ( , ). 50 . 8 ­ 10 . , .
P P P P P P


.. 1), .. 2), .. 1), .. 2), .. 2) 1) . ­ , . , . , . ,
P P P P P P P P P P P P P

2)
P

- - () () , . 50 , 5 30 80% 0 0 max ( ). , 0 0 , . , , . 19 0 - S ­ . . 50 0 . , 10 . 32%, D = 250 - 91,2%, D = 1 - 74,8%. , 274 ., D = 1 - 94 ., .. 3 . , . 680 , D = 1 ~ 120 .
P P B B P P P P P P P P P P


.. 1), .. 1), .. 2) , .. 1) ( ), , 2) , ,
P P P P P P P P P P P

2)
P

(), () , , (magnetic random access memory, MRAM) . , , .. , (001)/MgO(001)/(001) (=Fe, Co, CoFe) /1/. , Fe3Si Fe3O4, , .. ~45%, . Fe3Si(001)/MgO(001)/Fe3O4(001), (). (001) MgO(001) : Fe3Si, Fe3O4, Fe Si, , Fe . MgO, , Mg (Po~10-7 ) . , , ex situ , . , MgO in situ () () . .
B B B B B B B B B B B B B B B B B B P P

1. Parkin S.S.P., Kaiser C., Panchula A., Rice P.M., Hughes B., Samat M., Yang S. //Nature Mat., 3 (2004) 862.


Sn-Nb In-Nb . . 2), . . 1), . . 2) , . . 1), .. 1), . . 1) , . , 2) , . ,
P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P

1)

() . , , Sn-Nb In-Nb. 300 ; 2,7·10-3 390-770 . ­4 =3,035 . , . . ~ 200 ~60 () . Nb6Sn5 InNbO4 Nb5Si3 =390-770 . - , .
P P B B B B B B B B B B B B


.., .. , . , . () , , . n+ , , . . n+ (100 , =1015-1017 -2) (=1-105 , =300-1800 ). Al2+,3+, VO, - . , =1.5-3.8 2.3-4.1 , 5.4 . Al2O3 Eg5.4 . F20(+) ( ~3.5 ) Ali0(+) (~4.0 ) , Al2+,3+ (~1.8 2.8 ). 1300 VO n+ =5.0-5.2 . 300-1400 (=4.0-4.3 ), Aln+, VO Ali0(+) . =1200-1600 Aln+, F20(+) Al2O3.
P P P P P P P P P P P P B PB P B B B B B B B B B PB P B PB P B PB P B B P P B PB P B B B PB P B PB P B PB P B B B B


.. , .. , .. , . , . , , , . , 108-1012 . , . , . , . , . . , , , , - . , , , , .
P P P P


.. 1), .. 1), .. 2) 1) , . , 2) , . ,
P P P P P P P P P P

. , , , , 0.005 , . , , , , . , , . Ti-B-C, . , , . Si , TiB6C, , 0Â0.3 47 67 . . . + +. . . , .
B B P P P P


.. , .. , .. , .. , , IV A 50 . ­ , /1/. . ­ . -1 . . 10-2 950° 30 . 520±10° 1,2105 . 3 30 . + 3 30 -. TiH (t - 30 ) TiH (t - 3 ) 25 20 30°. 15 10 5 SIMNRA. 0 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 , . 0,6 . .
P P P P P P



, %

1. .., .., - .., .., .., ..// , 2007, .26, 11, .36.


- .., .., .., .., .. , , . , . , , , . . -3 , 5,7 . , 7 - 50 , 22, 55 90%. -7 ±2%. 51015 -2, 1 . + 3 . , SIMNRA. , , 0,8 . , , . , , , , .
P P P P P P


.. , .. , .. , . , , , (, , .). , - . , , . ( ) . , , . ( ) /1,2/, . (20-100 ), . 300-310 , ~20 ~1018-3. , . , . ( 50 %) . ~ 1.5 .
P P P P

1. .., .. // . , , 2006. - 8. ­ . 75-79. 2. .., .., .. // , 2007. ­ 33. ­ . 13. . 64-71.


(Zn,Co)O .. 1), .. 1), .. 1), .. 1), .. 2), .. 2) 1) , , 2) , ,
P P P P P P P P P P P P P P P

, ZnO, Co, () , . (Zn,Co)O, , , , , . (Zn,Co)O, CVD R-Al2O3 (111) ZrO2(Y2O3). , , CVD , , CVD . (111) ZrO2(Y2O3) , «» «» , . , (Zn,o)O , , - Co2+. . , , CVD , , , , . CVD- (Zn,Co)O .
B B B B B B B B B B B B B B B B P P


25 () ()
P P P P

.. 1), .. 2), . . 3), .. 2) 1) . .. , , 2) , , 3) . .. , ,
P P P P P P P P P P P P P P

, . . ( 10) CdSb (010) CdP2 (100), , 130, 25, 3 - 5 (0,3 - 2,0 % .) , ( 300 - 1 3 % , - 71,2 % .), ( 6 - 7) ( 10,22) , - () SiO2. . 2000 15 . . , , , , . Nt (/ 2), , . dSb Nt = 6 - 8 ` 1015 /2, Nt : Si, GaAs ( ) ZnO, - SiC ( ). , , .
B B B B P P P P


- .
1)
P P

.. 1) , .. 2) , , 2) , ,
P P P P P P

- (Me = Al, Au, Pt). O2+, . . /. , , . . - O+, Si+ Me+, SinOm+, MeO+, . - - (, , ..). Me/SiO2 - , , , . -, , MeO+. , SiO2, , « » . - . , . , ( , ) -, , .
B PB P P P P P P P B B B PB P P P B B P P B B


F/SI(111)7â7 .. , .. , .. . .. , , Fe/Si(111), 90- , , . . (1â10-10 ) . 100 . Si 2p Fe 3p , , h = 135 , Si 2p . , (111) 0.1°. 1 - 30 (ML), 1 ML/min. , Fe , FeSi CsCl. . 10 ML. Ñ . , Fe-Si, . 80°. -FeSi. , 200°, Fe/Si, 550°. 650°, -FeSi -FeSi2. ( 07-02-01009-) - BESSY.
P P B B


.. 1), Yu. Kudriavtsev2), .. 1), ..
P P P P P P P

1)

- , . --, 2) Dep. Ingenieria Electrica, Cinvestav-IPN, Mexico, D.F. Mexico
P P P P

1)

- (SIMS) . 4- . <111> p-Si 3-5 . 300 , 31014 31015 -2. SIMS- . ~ Rp . Rp. , , 3-6 , , . 500-900 (D = 0,018 2/ = 1,29 /T) (50-70 ).
P P P P P P B B B B P P B B P P B B


- .., .. «», , , 50-200 , (Al, Ag, Cu, Ni, Ti) 100 (Si, SiO2, Mo) . 20-100 , , 1 /2 1013 1017 -2 . (G) , , , 1 , 10 .
B B P P P P P P P P

/ N14 125 Ag Ar40 125 Ag Ag107 15 Ag Ar40 125 C12 75 Al N14 125 Cr N14 75 Cr Ar40 125 Cr Cr52 25 Cr Xe131 75 Al 31 75 Al
B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B

Ri max, 162 115 11 214 256 178 126 116 24 63 152
B B

G, / 2,35 10-9 1,27 10-8 2,41 10-10 1,81 10-9 5,59 10-10 2,31 10-9 2,62 10-9 9,41 10-9 7,60 10-10 1,75 10-8 2,85 10-9
P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P

RE 0,,1, 142 78 6,5 159 215 148 102 86 19 42 122
B B

, % 4,8 3,5 0,7 0 0,8 1,8 3,0 0,8 0,4 0 0,2
B B

O+, N+, P+, Ar+ , , , 107 /. ( 2-10 ) , . Ag-Mo 80 . , .
P P P P P P P P P P


- CdS .., .., .., .. , ., , .. r-, AIIBVI , , CdS. , , Cu CdS. R- () 10,95-1 21,35-1,4 . CdS 1 < <1,7, "" . , r-, . CdS CdS:Cu (~10%). , . , : (1) , r- ( 1 < <1,4); (2) Cu , . . , Cu .
P P P P B B B B


- 1H(15N,)12C, 15N(p,)12C Fe+0,2. %1 Fe+0,2. %15N
P P P P P P P P P P P P P P

.. , .. " - " . , "" , , , , . .1 15 N(p,)12C, 429,6 . .­123 . , (110) Fe+0,2.%15N (.=0). , - - , . . 2/3 (110). . ­ . , , , , 15N. .2 . Fe+0,2.%1 . 1H(15N,)12C 15N. 6,385 . .­1,8 . , - , . ­ ( ). . .
P P P P B B P P B B P P P P P P P P P P P P P P B B


.. 1), .. 2), .. 2) . ­ , . , 2) . , . , , , , . . -- , ( , . .). , , . . (, , ) , , . , : ; , (2 2.5 ); ; . . , . -6 25° 2 0,5 /2 5 , 200 . (D) 10 ­ 40 . . ( ), ­ ( ). , , ~ 10-30% .
P P P P P

1)
P

P

P

P

P

P



1)
P P

..1) , ..1), ..1), ..2) , , 2) , .,
P P P P P P P P P

« » . - ~10-4 ­ 10-2 , - ( , ). (2), 130 1012...1014 -2. , , , - , , - - (.).
P P P P P P P P P P

) ) . () () 1013 /2 2.
P P P P


.., .., .. ( ), , , , . 110 635 : ­ «-», ­ , ­ . 1,4 /, 0,5 . , - . . , Ar+ 2â1018 /2 ( ). - /1-3/, , 10-6 ­ 10-3 / , .
P P P P P P P P P P



1. 2. 3.

. . . .: , 1984, 264. ., .. 3- . .: , .1. 1987, 587. . . .: , 1962, 408.


.., .., .., .. , ,, E-mail:levenets@kipt.kharkov.ua . 1019.9 %; 11-80.1 %, 12-98.9 %, 13-1.1 %, . . - , () . : 10B(p,)7Be 429 ; 11B(p,)12C 4.43 . : 12C(p,)13N 2.36 ; 13C(p,)14N 8.0 . - "". 550 , 2,5 , 3000 . 20 . , Ge(Li) .
P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P

10

100 00

B(p,)11C 429

511 , /

10 00

11

B(p,)12C 4439

12

C(p,)13N 2365

100

10 0 40 0 800 12 00 160 0 20 00



. - .


.. - , . , - (), . , () (.. Si ) . . , ( ), . (P < 1â10-3) . . . , , -, ­ . , - , SIMOX- /1/. , . -, .
P P

1. 2193803 , 7H01L21/76. - . // .., .., .., .. ­ . 09.01.2001; . 27.11.2002., - .33.


- .. , .. , .. , . , - . , - , , . - . . , ,
T1 t = a1 2T1 z 2 , 0 z d , T2 t = a2 2T2 z 2 , 0 z h(t ) 1- , 2-; T1 (z ,0 ) = T2 (z ,0 ) = 0 T1 (d , t ) = T2 (0, t ) , 1T1 (d , t ) z = 2 T2 (0, t ) z T1 (0, t ) = f (t ) , 1T1 (0, t ) z = g (t ) , T -, a -. , -. , d - , h() = vt - t , v - , f (t ) g (t ) - . T2 (z , t ) T2 (h(t ), t ) , f (t ) g (t ) , - .


- . .. , .. , .. , . , . , (, ) , . . -

r -1 ( (T )r T r ) r + ( (T ) T z ) z = 0 . : T (r ,0) = T0 ; ~ ~ 2 T ( R, z ) = T0 , - T (r , H ) z = I 0 exp(- r 2 r0 ) . - , T0 ­ , I 0 - , r0 - , R - , H - . . 6- () . , , , . 6- .




XVII ... : .., ..., .., .. , .. ..