|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАучно-технической информации |
||
Koshelev K.N.
Соавторы: Malykhin E.M., Лопаев Д.В., Krivtsun V.M., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Рахимова Т.В., Рахимов А.Т., Брагинский О.В., Васильева А.Н., Glushkov D., van Kaampen M., Yakushev O.F.
3 статьи, 6 патентов
Количество цитирований статей в журналах по данным
Web of Science: 9,
Scopus: 7
IstinaResearcherID (IRID): 468383
Деятельность
стиль:
обычный |
ГОСТ |
plain |
abbrv |
acm |
alpha |
amsalpha |
amsplain |
apalike |
ieeetr |
siam
-
Статьи в журналах
-
- 2012 Removal of amorphous C and Sn on Mo:Si multilayer mirror surface in Hydrogen plasma and afterglow
- Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Malykhin E.M., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Koshelev K.N., Krivtsun V.M., van Kaampen Maarten, Glushkov D.
- в журнале Journal of Applied Physics, издательство American Institute of Physics (United States), том 111, ? 9, с. 093304-093304 DOI
-
- 2011 Loss of Hydrogen Atoms in H-2 Plasma on the Surfaces of Materials Used in EUV Lithography
- Zyryanov S.M., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Malykhin E.M., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Koshelev K.N., Krivtsun V.M.
- в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 37, ? 10, с. 881-889 DOI
-
-
Статьи в сборниках
-
- 2010 In-Line Plasma Cleaning of EUV Multilayer Mirrors
- Malykhin E.M., Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Koshelev K.N., Krivtsun V.M., Yakushev O.F.
- в сборнике Bulletin of the American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, October4-8 2010, Paris, France, серия 7, место издания Paris, France, том 55
-
-
Патенты
-
- 2012 Lithographic apparatus comprising an electrical discharge generator and method for cleaning an element of a lithographic apparatus
- Авторы: Rakhimova T.V., Banine V.Y., Ivanov V.V., Koshelev K.N., Moors J.H.J, Kovalev A.S., Lopaev D.V.
- #United States Patent 8317929, 27 ноября
-
- 2012 Lithographic apparatus comprising an electrical discharge generator and method for cleaning an element of a lithographic apparatus
- Авторы: Rakhimova T.V., Banine V.Y., Ivanov V.V., Koshelev K.N., Moors J.H.J, Kovalev A.S., Lopaev D.V.
- #United States Patent 8317929, 27 ноября
-
- 2011 LITHOGRAPHIC APPARATUS COMPRISING ELECTRICAL DISCHARGE GENERATOR AND METHOD FOR CLEANING ELEMENT OF LITHOGRAPHIC APPARATUS
- Авторы: Rakhimova T.V., Banine V.Y., Ivanov V.V., Koshelev K.N., Moors J.H.J, Kovalev A.S., Lopaev D.V.
- #JP2011082551 (A), 21 апреля
-
- 2011 Method for cleaning an element of lithographic apparatus
- Авторы: Rakhimova T.V., Banine V.Y., Ivanov V.V., Koshelev K.N., Moors J.H.J, Kovalev A.S., Lopaev D.V.
- #EP1764653, 5 апреля
-
- 2011 Lithographic apparatus and device manufacturing method
- Авторы: Ivanov V.V., Banine V.Y., Bleeker A.J., Koshelev K.N., Antsiferov P.S., Krivtsun V.M., Lopaev D.V.
- #United States Patent 7872244, 18 января
-
- 2009 LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
- Авторы: IVANOV V.V., BANINE V., BLEEKER A., KOSHELEV K.N., ANTSIFEROV P.S., KRIVTSUN V.M., LOPAEV D.V.
- #WO2009018933, 13 февраля
-
