Сканирующая электронная микроскопия структур микро- и наноэлектроники

Сканирующая электронная микроскопия, спектроскопия и томография структур микро- и наноэлектроники

Сканирующая электронная микроскопия в режиме катодолюминесценции

д.ф.-м.н., в.н.с. Э.И.Рау	к. 1-57а, т. (495)939-38-95
к.ф.-м.н., с.н.с. С.В.Зайцев	к. 1-57а, т. (495)939-38-95
к.ф.-м.н., с.н.с. А.Е.Лукьянов	к. 1-70, т. (495)939-54-33
к.ф.-м.н., н.с. П.В.Иванников	ГЗ, к. 19-01, т. (495)939-48-29
к.ф.-м.н., м.н.с. Е.Н.Евстафьева	к. 1-57а, т. (495)939-38-95
инж. А.И.Габельченко	ГЗ-Б, к. 19-01, т. (495)939-48-29