|
[ На предыдущий раздел]
Экспериментальная часть
В настоящей работе представлены результаты исследования структуры Мо-слоя на пористой керамической подложке, полученного при различных условиях.
Осаждение Мо осуществляли под атмосферным давлением из паров Мо(СО) 6 в потоке газа-носителя - N2 высокой чистоты.
Температура подложки варьировалась от 210 до 400њС.
В качестве подложки использовались корундовые трубки со следующими характеристиками: внутренний диаметр 7,4-7,8 мм; толщина стенки 1-1,2 мм; длина 80-100 мм; удельная поверхность 0,1 м2/г; открытая пористость 43-45%; преобладающий радиус пор 0,3 мкм (определен по методу 'точки пузырька' [17]).
Контакт паров гексакарбонила Мо осуществлялся только с внешней поверхностью (стенкой) трубчатой подложки. Попадание паров на внутреннюю стенку предотвращалось специальными мерами. Максимальная продолжительность непрерывного осаждения не превышала двух часов и обуславливалась рабочим объемом испарителя гексакарбонила молибдена.
Структура внешней поверхности и поперечного сечения полученных образцов была исследована на сканирующем электронном микроскопе 'HITACHI S-570' и оптическом микроскопе 'ПОЛАМ Р-311'.
Оптическая микроскопия позволила нам получить общую картину осаждения Мо на поверхность пористой подложки, а некоторые особенности пористой структуры, находящиеся за пределами разрешающей способности оптического микроскопа, исследовались с помощью сканирующего электронного микроскопа.
[ На следующий раздел] [На Содержание]
Copyright ї
|
