Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://www.inorg.chem.msu.ru/asp/Kharchenko_A_V.pdf Дата изменения: Wed Nov 6 22:57:32 2013 Дата индексирования: Thu Feb 27 22:23:22 2014 Кодировка:

(- , )
: .. : .. ( ) . , : . , , ( ), (MBI) (laser plume). . , , IBAD, . , (~kT), (CVD), (LPE) (CSD). , . (LIMOCVD, PEMOCVD .), (Spin Coating, Dip Coating, Drain Coating, Slot Die, ). , , , , (, ). MOCVD, ALD, .