Иследовательский центр Sandia National
Laboratories министерства энергетики США объявил о создании
миниатюрного химического анализатора на
одной микросхеме площадью 2 мм2.
Прибором заинтересовались как
коммерческие, так и военные структуры.
Устройства подобного класса обычно
состоят из двух элементов: преконцентратора, который
всасывает
смесь, удаляет воздух и передает
результаты на молекулярный газоанализатор, и собственно
газоанализатора, который производит
исследование образцов. Исследователям из Sandia удалось
объединить преконцентратор в одном
корпусе с молекулярным анализатором. На основе такой
микросхемы и построены образцы
химических микролабораторий, продемонстрированных
исследователями Sandia. Уже существуют
прототипы анализаторов ядовитых газов и мобильные
масс-спектрометры.
Микросхема изготавливается на основе 4-
дюймовых кремниевых пластин; из каждой получается до 200
изделий.
Следующее поколение подобных микросхем
планируется интегрировать в стандартные планарные
корпуса вместе с
микроэлектромеханическими системами (MEMS) прокачки воздуха
для создания
приборов газоанализа размером не более
пачки сигарет.