... Существует достаточно большое число технологий получения тонких пленок, которые условно могут быть разделены на физические и химические. ... Существо метода MOCVD состоит в том, что металлические компоненты пленки транспортируют в виде паров металлорганических летучих соединений в реактор, смешивают с газообразным окислителем, после чего происходит разложение паров в реакторе с горячими стенками или на нагретой подложке и образование в дальнейшем пленки ВТСП-фазы. ...